佛山市博顿光电科技有限公司;中山市博顿光电科技有限公司刘伟基获国家专利权
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龙图腾网获悉佛山市博顿光电科技有限公司;中山市博顿光电科技有限公司申请的专利真空腔体的关门系统、真空镀膜机及真空刻蚀机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223974178U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423096284.7，技术领域涉及：C23C14/22；该实用新型真空腔体的关门系统、真空镀膜机及真空刻蚀机是由刘伟基;刘运鸿;冀鸣设计研发完成，并于2024-12-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本真空腔体的关门系统、真空镀膜机及真空刻蚀机在说明书摘要公布了：本申请涉及一种真空腔体的关门系统、真空镀膜机及真空刻蚀机；所述关门系统包括：控制器、延时触发装置、压力传感器和腔门压紧机构；压力传感器设于真空腔体上，用于检测真空腔体的腔门关紧状态并输出触发信号；腔门压紧机构连接在腔门上，用于在控制器的控制下压紧真空腔体的腔门；控制器用于接收操作人员输入的关门命令并输出计时指令至延时触发装置，以及接收延时触发装置的关门指令并控制腔门压紧机构压紧腔门；延时触发装置用于接收控制器的计时指令启动计时，接收压力传感器输出的触发信号并发送关门指令至所述控制器；该技术方案，可以提高关闭真空腔体的腔门的操作效率，便于操作人员方便的关闭腔门，并且提高了操作安全性。
本实用新型真空腔体的关门系统、真空镀膜机及真空刻蚀机在权利要求书中公布了：1.一种真空腔体的关门系统，其特征在于，包括：控制器、延时触发装置、压力传感器和腔门压紧机构；其中，所述压力传感器连接所述延时触发装置，所述延时触发装置与腔门压紧机构分别连接所述控制器； 所述压力传感器设于真空腔体上，用于检测真空腔体的腔门关紧状态并输出触发信号； 所述腔门压紧机构连接在腔门上，用于在控制器的控制下压紧真空腔体的腔门； 所述控制器用于接收操作人员输入的关门命令并输出计时指令至延时触发装置，以及接收所述延时触发装置的关门指令并控制腔门压紧机构压紧腔门； 所述延时触发装置用于接收控制器的计时指令启动计时，接收所述压力传感器输出的触发信号并发送关门指令至所述控制器。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人佛山市博顿光电科技有限公司;中山市博顿光电科技有限公司，其通讯地址为：528237 广东省佛山市南海区狮山镇华沙路12号之一南海平谦国际智慧产业园A5-1；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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