上海积塔半导体有限公司李坤获国家专利权
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龙图腾网获悉上海积塔半导体有限公司申请的专利物理气相沉积机台获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223974179U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520359044.7,技术领域涉及:C23C14/22;该实用新型物理气相沉积机台是由李坤;单翌;闫晓晖设计研发完成,并于2025-03-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本物理气相沉积机台在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种物理气相沉积机台,包括:壳体,设有一开口;顶罩,盖设于所述开口处,用以封闭所述壳体;至少一个升降机构,设于所述顶罩靠近所述壳体的一侧,用以带动所述顶罩沿第一方向朝靠近或背离所述壳体的方向移动。本实用新型通过在顶罩的底部设置升降机构,当拆卸顶罩时,启动升降机构运动以顶起顶罩,进而将顶罩与壳体相分离,降低拆卸顶罩时的难度,提高拆卸顶罩的效率,降低沉积机台保养停机时间,提高沉积机台的产量。
本实用新型物理气相沉积机台在权利要求书中公布了:1.一种物理气相沉积机台,其特征在于,包括: 壳体,设有一开口; 顶罩,盖设于所述开口处,用以封闭所述壳体; 至少一个升降机构,设于所述顶罩靠近所述壳体的一侧,用以带动所述顶罩沿第一方向朝靠近或背离所述壳体的方向移动。
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