天津耀皮工程玻璃有限公司王科研获国家专利权
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龙图腾网获悉天津耀皮工程玻璃有限公司申请的专利一种磁控溅射镀膜设备的模块化靶材支架结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223974183U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520588431.8，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种磁控溅射镀膜设备的模块化靶材支架结构是由王科研;梁继然;杨桂祥;曹逊;张得全;王朝阳;李亚娟设计研发完成，并于2025-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种磁控溅射镀膜设备的模块化靶材支架结构在说明书摘要公布了：本申请提供一种磁控溅射镀膜设备的模块化靶材支架结构，涉及靶材支架技术领域，包括：滑动座；所述滑动座通过四个螺杆固定在镀膜设备内，滑动座内滑动有一个T形滑动块，滑动座上滑动有一个滑动架，滑动架的右端面固定有一个第一电动机，第一电动机的输出轴上通过销钉固定有一根螺纹杆，螺纹杆螺纹连接在T形滑动块上；滑动座内固定有一个电动缸，电动缸的伸出端固定在滑动架上。散热与隔热设计出色。靶材支架上阵列状开设的圆形散热孔，大幅提升了散热效果，保证设备在使用过程中的温度稳定。顶部固定的氧化铝材质凹形隔热块，有效降低热量对靶材支架的影响，延长了设备的使用寿命，保障其性能稳定。
本实用新型一种磁控溅射镀膜设备的模块化靶材支架结构在权利要求书中公布了：1.一种磁控溅射镀膜设备的模块化靶材支架结构，其特征在于：包括滑动座1；所述滑动座1通过四个螺杆固定在镀膜设备内，滑动座1内滑动有一个T形滑动块201，滑动座1上滑动有一个滑动架202，滑动架202的右端面固定有一个第一电动机203，第一电动机203的输出轴上通过销钉固定有一根螺纹杆204，螺纹杆204螺纹连接在T形滑动块201上；滑动座1内固定有一个电动缸205，电动缸205的伸出端固定在滑动架202上。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人天津耀皮工程玻璃有限公司，其通讯地址为：300409 天津市北辰区新技术产业园区北辰科技工业园；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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