碲阳半导体(泰州)有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉碲阳半导体(泰州)有限公司申请的专利一种便于维护的镀膜室获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223974184U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520660580.0，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种便于维护的镀膜室是由请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-04-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种便于维护的镀膜室在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种便于维护的镀膜室，涉及磁控溅射设备维护领域，包括镀膜室以及镀膜室的两个侧壁侧壁一与侧壁二，所述镀膜室的内腔中设有可移动遮挡板，所述遮挡板的上端设有用于驱动遮挡板移动的第一驱动装置，所述遮挡板的底端设有用于遮挡板移动的第一导向装置。本实用新型通过在镀膜室内设置挡板，使用此遮挡板后，可以减少残渣在腔体内壁的沉积，并且此遮挡板可以在连续生产线中连续传动，随基板一取出，随时进行保养或者更换，随时进行遮挡。降低了腔体内部的清理工作的难度，使得清理工作方便进行，且不需要对镀膜室进行开腔处理，降低设备损坏的风险，不需要进行设备恢复，持续进行生产，不受设备保养影响。
本实用新型一种便于维护的镀膜室在权利要求书中公布了：1.一种便于维护的镀膜室，包括镀膜室1以及镀膜室1的两个侧壁一2与侧壁二3，其特征在于：所述镀膜室1的内腔中设有可移动遮挡板8，所述遮挡板8的上端设有用于驱动遮挡板8移动的第一驱动装置，所述遮挡板8的底端设有用于遮挡板8移动的第一导向装置，所述镀膜室1的内腔中设有可移动的基板11，所述基板11的横截面尺寸小于遮挡板8的横截面尺寸，所述基板11的上端设有第二驱动装置，所述基板11的下方设有第二导向装置，所述侧壁一2的一侧设有镀膜装置。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人碲阳半导体(泰州)有限公司，其通讯地址为：225300 江苏省泰州市海陵区工业园区兴园路1号2幢；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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