内蒙古中启芯材料有限公司柴喜红获国家专利权
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龙图腾网获悉内蒙古中启芯材料有限公司申请的专利一种集成掺杂工艺的多腔室金刚石生长设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223974193U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520681125.9，技术领域涉及：C23C16/27；该实用新型一种集成掺杂工艺的多腔室金刚石生长设备是由柴喜红;彭俊杰;张志伟设计研发完成，并于2025-04-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种集成掺杂工艺的多腔室金刚石生长设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及金刚石生长设备技术领域，具体涉及一种集成掺杂工艺的多腔室金刚石生长设备；它包含壳体，壳体内通过多个隔板分为多个生长腔，每个生长腔前方均安装有前门，每个生长腔中底部均安装有旋转组件，旋转组件上安装有基板，基板中设有加热结构，壳体后方连接有连接至外部供气设备上的进气管以及连接至外部真空设备上的真空管，真空管和进气管分别通过支管连接至每个生长腔中，进气管的每个支管上均设有微波单元；本实用新型通过多个独立腔室的设计，共用进气以及真空设备，每个腔室可以独立控制运转，并设计旋转组件，在金刚石的沉积生长过程中，可以驱动其持续低速转动，提升与气体接触的均匀性，防止金刚石掺杂不均，保证产品品质。
本实用新型一种集成掺杂工艺的多腔室金刚石生长设备在权利要求书中公布了：1.一种集成掺杂工艺的多腔室金刚石生长设备，它包含壳体1，其特征在于：壳体1内通过多个隔板分为多个生长腔2，每个生长腔2前方均安装有前门3，每个生长腔2中底部均安装有旋转组件，旋转组件上安装有基板8，基板8中设有加热结构，壳体1后方连接有连接至外部供气设备上的进气管10以及连接至外部真空设备上的真空管11，真空管11和进气管10分别通过支管连接至每个生长腔2中，进气管10的每个支管上均设有微波单元14。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人内蒙古中启芯材料有限公司，其通讯地址为：010010 内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区102省道18号呼和浩特金山国家高新区新能源产业园北区6号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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