韩明琦获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉韩明琦申请的专利一种石墨烯纳米复合薄膜沉积装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223974194U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520542044.0，技术领域涉及：C23C16/44；该实用新型一种石墨烯纳米复合薄膜沉积装置是由韩明琦;周靖翔;贾天鑫;侯璐;徐睿;王美静;武子涵设计研发完成，并于2025-03-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种石墨烯纳米复合薄膜沉积装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种石墨烯纳米复合薄膜沉积装置，包括圆柱形体、多通道气体分配器、可旋转基材托盘、气溶胶喷射模块及磁控溅射组件，所述圆柱形体的内部为真空腔体，所述多通道气体分配器通过法兰盘固定安装在圆柱形体的顶端，所述圆柱形体的底端通过法兰盘固定安装有真空泵，所述圆柱形体的内部真空腔体中间处固定安装有隔板，所述隔板上设置有可旋转基材托盘，所述气溶胶喷射模块连接于多通道气体分配器，所述磁控溅射组件安装设置在圆柱形体的内部侧壁上；该石墨烯纳米复合薄膜沉积装置具有能够结合基材旋转实现薄膜均匀沉积，模块化设计支持单层或交替多层复合薄膜制备，柔性基材适配，高效真空系统，减少能量损耗等特点。
本实用新型一种石墨烯纳米复合薄膜沉积装置在权利要求书中公布了：1.一种石墨烯纳米复合薄膜沉积装置，包括圆柱形体1、多通道气体分配器2、可旋转基材托盘3、气溶胶喷射模块4及磁控溅射组件5，其特征在于：所述圆柱形体1的内部为真空腔体，并在圆柱形体1的顶端和低端分别设置安装有法兰盘6，所述多通道气体分配器2通过法兰盘6固定安装在圆柱形体1的顶端，所述圆柱形体1的底端通过法兰盘6固定安装有真空泵7，所述圆柱形体1的内部真空腔体中间处固定安装有隔板8，所述隔板8上设置有可旋转基材托盘3，所述气溶胶喷射模块4连接于多通道气体分配器2，并设置在圆柱形体1的内部顶面上，所述磁控溅射组件5安装设置在圆柱形体1的内部侧壁上。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人韩明琦，其通讯地址为：063000 河北省唐山市路北区新华西道101号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励