苏州欣威晟电子科技有限公司何霁获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州欣威晟电子科技有限公司申请的专利一种化学气相沉积炉的辅助进气装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223974197U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520640466.1，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种化学气相沉积炉的辅助进气装置是由何霁;徐俊怡设计研发完成，并于2025-04-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种化学气相沉积炉的辅助进气装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种化学气相沉积炉的辅助进气装置，包括化学气相沉积炉本体和反应管，所述反应管卡接在化学气相沉积炉本体的内部，反应管的一端设置有辅助进气机构，辅助进气机构能够向化学气相沉积炉的反应管内辅助预热进气，涉及化学气相沉积技术领域：通过对化学气相沉积炉的进气管设置辅助进气装置，多种气体先进入管状的预热管内，气体在混合的同时快速受热预热，既不占用空间，又使混合气体进入化学气相沉积炉的时候具有一定的温度，可以提高混合体的反应效率和反应效果。
本实用新型一种化学气相沉积炉的辅助进气装置在权利要求书中公布了：1.一种化学气相沉积炉的辅助进气装置，包括化学气相沉积炉本体1和反应管11，所述反应管11卡接在化学气相沉积炉本体1的内部，其特征在于： 反应管11的一端设置有辅助进气机构100，辅助进气机构100能够向化学气相沉积炉的反应管11内辅助预热进气； 辅助进气机构100包括支撑组件2、进气组件3和预热进气组件4。
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