楚赟精工科技(上海)有限公司张业民获国家专利权
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龙图腾网获悉楚赟精工科技(上海)有限公司申请的专利基片载体获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223974201U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520628118.2，技术领域涉及：C23C16/50；该实用新型基片载体是由张业民;童中华;林桂荣设计研发完成，并于2025-04-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本基片载体在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种基片载体，基片载体的承载区包括在所述基片载体的顶面沿同一周向开设的若干凹穴，同一周向的若干凹穴组成一凹穴组，各所述凹穴的边部开设有槽结构，凹穴包括用于支撑所放置基片的内部承载面，槽结构围绕所述内部承载面设置。由于气流流经基片载体表面温度升高，在流经相对较低温度基片的过程中气流温度逐渐降低，该过程过程加剧基片的温度不均匀性，在内部承载面和槽结构的底面之间形成有倾斜于所述内部承载面的侧壁，内部承载面和侧壁所围结构的外径沿内部承载面指向槽结构底面所在区域的方向减小，能够通过该倾斜的侧壁和凹穴底部共同补偿基片顶面的传热温场，有利于基片的温度均匀性。
本实用新型基片载体在权利要求书中公布了：1.一种基片载体，其特征在于，包括承载区； 所述承载区包括在所述基片载体的顶面沿同一周向开设的若干凹穴，同一周向的若干所述凹穴组成一凹穴组，各所述凹穴的边部开设有槽结构； 所述凹穴包括用于支撑所放置基片的内部承载面，所述槽结构围绕所述内部承载面设置，所述内部承载面和所述槽结构的底面之间形成有倾斜于所述内部承载面的侧壁，所述内部承载面和所述侧壁所围结构的外径沿所述内部承载面指向所述槽结构底面所在区域的方向减小。
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