江苏新顺微电子股份有限公司李泽炎获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏新顺微电子股份有限公司申请的专利一种卧式扩散炉的石英管结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223974259U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520494765.9，技术领域涉及：C30B31/16；该实用新型一种卧式扩散炉的石英管结构是由李泽炎;陆益;李明树设计研发完成，并于2025-03-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种卧式扩散炉的石英管结构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体生产技术领域，具体地说，涉及一种卧式扩散炉的石英管结构。该石英管结构包括石英管主体，石英管主体长度方向一侧设有柜门，石英管主体包括内层管和外层管，内层管内形成容纳腔，容纳腔用于放置硅片，内层管外侧套设有外层管，外层管远离柜门一端形成输气管，输气管用于输入工艺气体，内层管与外层管之间形成夹层腔，内层管侧壁形成多个连通夹层腔和容纳腔的导气孔。上述石英管结构能够有效提高与硅片接触的工艺气体的均匀程度，从而较佳地减少硅片表面的工艺缺陷。
本实用新型一种卧式扩散炉的石英管结构在权利要求书中公布了：1.一种卧式扩散炉的石英管结构，其特征在于，包括石英管主体，石英管主体长度方向一侧设有柜门，石英管主体包括内层管和外层管，内层管内形成容纳腔，容纳腔用于放置硅片，内层管外侧套设有外层管，外层管远离柜门一端形成输气管，输气管用于输入工艺气体，内层管与外层管之间形成夹层腔，内层管侧壁形成多个连通夹层腔和容纳腔的导气孔。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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