礼鼎半导体科技(深圳)有限公司;礼鼎半导体科技秦皇岛有限公司庄孟榕获国家专利权
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龙图腾网获悉礼鼎半导体科技(深圳)有限公司;礼鼎半导体科技秦皇岛有限公司申请的专利光罩及曝光设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223977494U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520580521.2,技术领域涉及:G03F1/00;该实用新型光罩及曝光设备是由庄孟榕设计研发完成,并于2025-03-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本光罩及曝光设备在说明书摘要公布了:本申请实施例涉及曝光技术领域,并提供一种光罩及曝光设备。该光罩包括透光的第一基板、与第一基板相对且透光的第二基板、位于第一基板和第二基板之间的液晶层、位于第一基板背离液晶层的一侧的第一偏光片、位于第二基板背离液晶层的一侧的第二偏光片、位于第一基板和液晶层之间的透光的第一电极层、位于第二基板和液晶层之间的透光的第二电极层及开关层。第二电极层包括间隔设置的多个第二电极。开关层包括多个开关。每个开关与至少一个第二电极电连接,用于在开启状态下,将驱动信号施加给对应的第二电极,进而改变液晶层中对应区域的透光性,使光通过光罩后形成目标图案。
本实用新型光罩及曝光设备在权利要求书中公布了:1.一种光罩,其特征在于,包括: 透光的第一基板; 透光的第二基板,与所述第一基板相对; 液晶层,位于所述第一基板和所述第二基板之间; 第一偏光片,位于所述第一基板背离所述液晶层的一侧; 第二偏光片,位于所述第二基板背离所述液晶层的一侧; 透光的第一电极层,位于所述第一基板和所述第二基板之间; 透光的第二电极层,位于所述第二基板和所述液晶层之间,并与所述第一电极层间隔设置,所述第二电极层包括间隔设置的多个第二电极;以及 开关层,包括多个开关,每个所述开关与至少一个所述第二电极电连接,用于在开启状态下,将驱动信号施加给对应的所述第二电极,进而改变所述液晶层中对应区域的透光性,使光通过所述光罩后形成目标图案。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人礼鼎半导体科技(深圳)有限公司;礼鼎半导体科技秦皇岛有限公司,其通讯地址为:518105 广东省深圳市宝安区燕罗街道燕川社区朗东路8号SL11;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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