浙江创芯集成电路有限公司高伟获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江创芯集成电路有限公司申请的专利锁紧状态监测装置及晶圆装载设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223979025U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423320502.0，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型锁紧状态监测装置及晶圆装载设备是由高伟;李嵘;刘智远;商家浩;章椿宇设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本锁紧状态监测装置及晶圆装载设备在说明书摘要公布了：一种锁紧状态监测装置及晶圆装载设备，锁紧状态监测装置用于在晶圆装载设备和晶圆传送盒对接前监测晶圆传送盒的锁孔状态，所述锁紧状态监测装置包括测距单元和处理单元，所述测距单元用于测量晶圆装载设备至晶圆传送盒的锁孔处的距离，所述处理单元用于接收测距单元测量的距离信息，并将该距离与正常距离进行比较，从而判断晶圆传送盒的锁孔状态是否异常。通过在对接前进行锁孔状态监测，能够及时发现晶圆传送盒的锁孔的异常状态，避免因锁孔状态异常导致的对接失败。此外，通过测距单元和处理单元的配合，实现了对锁孔状态的自动判断，提高了监测的可靠性和效率。
本实用新型锁紧状态监测装置及晶圆装载设备在权利要求书中公布了：1.一种锁紧状态监测装置，其特征在于，用于在晶圆装载设备和晶圆传送盒对接前，监测所述晶圆传送盒的锁孔状态，所述锁紧状态监测装置包括： 测距单元，用于测量所述晶圆装载设备至晶圆传送盒的锁孔处的距离； 处理单元，用于接收所述测距单元测量的所述晶圆装载设备至晶圆传送盒的锁孔处的距离，并将测量得到的距离与正常距离进行比较，判断所述晶圆传送盒的锁孔状态是否异常。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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