郑州合晶硅材料有限公司吴泓明获国家专利权
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龙图腾网获悉郑州合晶硅材料有限公司申请的专利一种晶片清洗装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223979035U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520463783.0,技术领域涉及:H10P72/00;该实用新型一种晶片清洗装置是由吴泓明;钟佑生;陈志刚;周军磊;李常存设计研发完成,并于2025-03-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶片清洗装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种晶片清洗装置,包括上端开口的腔体、晶片支撑机构和可升降的护罩;所述护罩由上至下依次包括锥台形罩体和圆柱形罩体;所述锥台形罩体的倾斜度α为15~25°;所述圆柱形罩体的底部连接有支架;所述支架由上至下依次包括水平连接柱、倾斜过渡段、竖直连接板和水平连接板;所述水平连接柱和所述水平连接板分别用于与所述圆柱形罩体和升降机构连接。本申请在改善护罩的同时也对护罩支架进行优化,从而使晶片在清洗过程中液体不会返溅至晶片表面,可以有效的提高产品的良率,同时也使护罩支架更加坚固,在长时间升降动作后不会出现断裂的情况,可以有效的减少清洗机的维修时间提高稼动率。
本实用新型一种晶片清洗装置在权利要求书中公布了:1.一种晶片清洗装置,包括上端开口的腔体、晶片支撑机构和可升降的护罩;所述晶片支撑机构位于所述腔体中心;所述护罩设于所述腔体和所述晶片支撑机构之间,用于在清洗晶片时升起将所述晶片包围;其特征在于, 所述护罩由上至下依次包括锥台形罩体和圆柱形罩体;所述锥台形罩体的倾斜度α为15~25°; 所述圆柱形罩体的底部连接有支架;所述支架由上至下依次包括水平连接柱、倾斜过渡段、竖直连接板和水平连接板;所述水平连接柱和所述水平连接板分别用于与所述圆柱形罩体和升降机构连接。
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