苏州新米特电子科技有限公司李志卫获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州新米特电子科技有限公司申请的专利一种晶圆片夹持清洗设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223979049U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520573111.5，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种晶圆片夹持清洗设备是由李志卫设计研发完成，并于2025-03-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆片夹持清洗设备在说明书摘要公布了：本申请涉及晶圆清洗加工技术领域，且公开了一种晶圆片夹持清洗设备，包括清洗箱，所述清洗箱的内部转动连接有清洗盘，所述清洗盘的内部转动连接有等距排列的丝杆。该晶圆片夹持清洗设备，通过第一锥齿轮转动时在第二锥齿轮的作用下带动丝杆进行转动，促使螺纹管带动连接板和夹爪进行同步收放，进而在晶圆清洗的过程中对晶圆进行定位加固，避免冲击力较大的高压气体或高压水柱造成晶圆的掉落，导致晶圆的损坏，提高晶圆清洗作业过程中的稳定性，保障清洗作业的正常进行，通过柱齿轮转动时在外齿环的作用下带动清洗盘进行转动，促使晶圆清洗的过程中能够进行缓慢转动，进而确保晶圆清洗的均匀性和全面性，保障清洗质量。
本实用新型一种晶圆片夹持清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆片夹持清洗设备，包括清洗箱1，其特征在于：所述清洗箱1的内部转动连接有清洗盘2，所述清洗盘2的内部转动连接有等距排列的丝杆3，每个所述丝杆3的外圆周面均螺纹连接有螺纹管4，每个所述螺纹管4的外圆周面均固定连接有连接板5，所述连接板5远离螺纹管4的一端固定连接有夹爪6，所述清洗盘2的内部设有第一电机7，所述第一电机7的输出端固定连接有第一锥齿轮8，每个所述丝杆3的远离螺纹管4的一端均固定连接有第二锥齿轮9，所述第二锥齿轮9与第一锥齿轮8相啮合，所述清洗箱1的内部设有第二电机10，所述第二电机10的输出端固定连接有柱齿轮11，所述清洗盘2的外圆周面固定套接有外齿环12，所述外齿环12与柱齿轮11相啮合，所述清洗箱1的内部固定插接有清洗管23，所述清洗管23的底部设有等距排列的喷头24。
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