芯恩(青岛)集成电路有限公司黄超获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利一种晶圆盒的转移装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223979064U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520562579.4,技术领域涉及:H10P72/30;该实用新型一种晶圆盒的转移装置是由黄超;王雪飞;林瑶;王庆松设计研发完成,并于2025-03-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆盒的转移装置在说明书摘要公布了:本发明公开了一种晶圆盒的转移装置,晶圆盒的侧壁上设有可转动的遮挡件;转移装置包括:放置腔,用于放置晶圆盒;限位部,设于放置腔内,且限位部上具有限位凸起;将晶圆盒放置于放置腔内,且遮挡件完全打开时,晶圆盒位置未发生偏移,限位凸起位于晶圆盒的相对侧壁之间,且晶圆盒的底部平行于放置腔的底壁;将晶圆盒放置于放置腔内,且遮挡件未完全打开时,晶圆盒位置发生偏移,遮挡件抵接于限位凸起的端面,晶圆盒的底壁倾斜,与放置腔的底壁具有夹角。本发明能够改善由于无法判断遮挡件是否完全打开而导致的机械臂与遮挡件碰撞的问题。
本实用新型一种晶圆盒的转移装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆盒的转移装置,所述晶圆盒100的侧壁上设有可转动的遮挡件110;其特征在于,所述转移装置包括: 放置腔200,用于放置所述晶圆盒100; 限位部300,设于所述放置腔200内,且所述限位部300上具有限位凸起310; 将所述晶圆盒100放置于所述放置腔200内,且所述遮挡件110完全打开时,所述晶圆盒100位置未发生偏移,所述限位凸起310位于所述晶圆盒100的相对侧壁之间,且所述晶圆盒100的底部平行于所述放置腔200的底壁; 将所述晶圆盒100放置于所述放置腔200内,且所述遮挡件110未完全打开时,所述晶圆盒100位置发生偏移,所述遮挡件110抵接于所述限位凸起310的端面,所述晶圆盒100的底壁倾斜,与所述放置腔200的底壁具有夹角。
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