宁夏创格新材料科技有限公司李飞获国家专利权
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龙图腾网获悉宁夏创格新材料科技有限公司申请的专利均匀散热式陶瓷静电吸盘获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223979073U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520565307.X，技术领域涉及：H10P72/72；该实用新型均匀散热式陶瓷静电吸盘是由李飞;石义;李钰;滕飞设计研发完成，并于2025-03-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本均匀散热式陶瓷静电吸盘在说明书摘要公布了：本实用新型公开了均匀散热式陶瓷静电吸盘，包括吸盘和多个均匀嵌设于吸盘内部的静电电极，吸盘由陶瓷材质制成，吸盘内部且靠近顶部的一侧设为中空结构形成通气腔，通气腔内壁上滑动有活动板，活动板内部均匀地固设有多个顶针管，顶针管均滑动于吸盘顶侧且均为中空结构，通气腔内部流动有第一冷却介质；吸盘内部均位于静电电极下方均匀地固设有多个冷却管，冷却管内部流动有第二冷却介质。通过上述结构，利用氦气的高导热性带走接触面热量，气体在晶圆底部与吸盘顶部之间流输，用于增强散热以提升静电吸盘的热稳定性，配合冷却管通过外部循环泵实现持续热交换，气－液协同散热利于保持吸盘的稳定的温度，确保加工工艺过程中的稳定性。
本实用新型均匀散热式陶瓷静电吸盘在权利要求书中公布了：1.均匀散热式陶瓷静电吸盘，其特征在于，包括吸盘1和多个均匀嵌设于吸盘1内部的静电电极7，所述吸盘1由陶瓷材质制成，所述吸盘1内部且靠近顶部的一侧设为中空结构形成通气腔2，所述通气腔2内壁上滑动有活动板3，所述活动板3内部均匀地固设有多个顶针管5，所述顶针管5均滑动于吸盘1顶侧且均为中空结构，所述通气腔2内部流动有第一冷却介质； 所述吸盘1内部均位于静电电极7下方均匀地固设有多个冷却管8，所述冷却管8内部流动有第二冷却介质。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人宁夏创格新材料科技有限公司，其通讯地址为：750200 宁夏回族自治区银川市贺兰工业园区暖泉龙翔新材料孵化园东区16号厂房；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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