无锡宜恰高技术有限公司费珂获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡宜恰高技术有限公司申请的专利一种增设有氧化钇pvd涂层的静电卡盘获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223979074U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520615417.2，技术领域涉及：H10P72/72；该实用新型一种增设有氧化钇pvd涂层的静电卡盘是由费珂设计研发完成，并于2025-04-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种增设有氧化钇pvd涂层的静电卡盘在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种静电卡盘，具体是一种增设有氧化钇pvd涂层的静电卡盘，包括：转动在所述基座和绝缘座之间的封堵盘，封堵盘可在基座和绝缘座之间转动，用于调节所述基座和绝缘座之间的气道的连通状态。本实用新型通过在静电卡盘上优化设置背吹气道，能够实现精确地调节气流的数量及其分布情况，这使得气流的控制更加灵活和精准，具体来说，这种改进的设计可以在晶圆加工过程中，针对不同的温度需求进行动态调节，确保晶圆在处理过程中始终保持均匀而稳定的温度，能够根据不同的加工环节和环境条件，实时调整气流的方向和强度，从而实现更加合理和高效的热交换，避免了温度过高或过低对晶圆质量产生的负面影响。
本实用新型一种增设有氧化钇pvd涂层的静电卡盘在权利要求书中公布了：1.一种增设有氧化钇pvd涂层的静电卡盘，包括底座1、安装在所述底座1上的基座2及安装在所述基座2上的绝缘座7，其特征在于，还包括设置在所述基座2和绝缘座7之间的气道连通结构，所述气道连通结构包括： 转动在所述基座2和绝缘座7之间的封堵盘4，封堵盘4可在基座2和绝缘座7之间转动，用于调节所述基座2和绝缘座7之间的气道的连通状态； 位于所述封堵盘4两侧分别连接在所述基座2和绝缘座7上的连通限位件，所述连通限位件用于在所述封堵盘4转动时，与所述封堵盘4实现抵接连通，从而控制气道的具体数量及分布。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人无锡宜恰高技术有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市新吴区清源路18号530创业大厦A栋501-1；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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