杭州光研科技有限公司陈海龙获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州光研科技有限公司申请的专利一种晶圆承载单体及晶圆夹持装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223979082U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520499045.1，技术领域涉及：H10P72/76；该实用新型一种晶圆承载单体及晶圆夹持装置是由陈海龙;郭晓忠;翁杰设计研发完成，并于2025-03-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆承载单体及晶圆夹持装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及晶圆检测设备领域，尤其是一种晶圆承载单体及晶圆夹持装置，晶圆承载单体包括水平移动机构及竖直移动机构，水平移动机构包括水平驱动件及水平滑移块，水平滑移块在水平驱动件的作用下沿晶圆径向往复移动，竖直移动机构设置在水平滑移块上，包括竖直驱动件及竖直滑移块，竖直滑移块在竖直驱动件的作用下在水平滑移块上沿竖直方向往复升降；竖直滑移块上固定连接用于夹持晶圆的夹爪；晶圆夹持装置，包括晶圆承载单体及转台，承载单体的数量为多个，在转台上周向分布。本实用新型可以单独控制夹爪并对晶圆进行稳定承托，夹爪可以单独收回，从而将晶圆边沿区域完全暴露出来，同时不影响晶圆承托的稳定性。
本实用新型一种晶圆承载单体及晶圆夹持装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆承载单体，其特征在于，包括水平移动机构及竖直移动机构，所述水平移动机构包括水平驱动件31及水平滑移块33，所述水平滑移块33在水平驱动件31的作用下沿晶圆6径向往复移动，所述竖直移动机构设置在水平滑移块33上，包括竖直驱动件41及竖直滑移块43，所述竖直滑移块43在竖直驱动件41的作用下在水平滑移块33上沿竖直方向往复升降；所述竖直滑移块43上固定连接用于夹持晶圆6的夹爪5。
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