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河南凯卫仕环保科技有限公司张辉获国家专利权

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龙图腾网获悉河南凯卫仕环保科技有限公司申请的专利一种用于集成电路晶圆加工的夹持工装获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223979089U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520562715.X,技术领域涉及:H10P72/76;该实用新型一种用于集成电路晶圆加工的夹持工装是由张辉;黄全秋;付慧设计研发完成,并于2025-03-28向国家知识产权局提交的专利申请。

一种用于集成电路晶圆加工的夹持工装在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种用于集成电路晶圆加工的夹持工装,具体涉及电路晶圆加工技术领域,包括夹台、底座和置物槽,所述夹台顶端的表面设置有置物槽,所述夹台的内部设置有同步固定组件,所述同步固定组件包括内腔、旋转台、转轴、旋钮、凸台、定位杆、套筒、扭力弹簧、夹块、衬垫、底轴、发条弹簧、固定孔以及固定栓。本实用新型通过设置有转轴和夹块,随着晶圆置于置物槽的内部放置后,可旋转中心位置处的转轴,转轴驱动凸台进行旋转的过程中,与夹块接触,可推动夹块进入置物槽内,夹持置物槽内部的晶圆,辅助其进行固定,之后,转动旋转台外侧的固定栓,抵住转轴放置倒转防止松动即可,实现了该夹持工装固定晶圆时的便捷性。

本实用新型一种用于集成电路晶圆加工的夹持工装在权利要求书中公布了:1.一种用于集成电路晶圆加工的夹持工装,包括夹台1、底座2和置物槽4,其特征在于:所述夹台1的底端固定有底座2,所述夹台1顶端的表面设置有置物槽4,所述夹台1的内部设置有同步固定组件; 所述同步固定组件包括内腔3、旋转台5、转轴6、旋钮7、凸台8、定位杆9、套筒10、扭力弹簧11、夹块12、衬垫13、底轴14、发条弹簧15、固定孔16以及固定栓17,所述夹台1内部的中心位置处设置有内腔3,所述夹台1顶端的中心位置处固定有旋转台5,所述旋转台5的内部活动安装有转轴6,所述转轴6的顶端固定有旋钮7,所述转轴6底端延伸至底座2的内部,所述旋钮7的外侧壁固定有凸台8,所述底座2的内部安装有定位杆9,所述定位杆9的外侧活动安装有套筒10,所述套筒10的内侧安装有扭力弹簧11,所述套筒10的外侧壁固定有夹块12,所述夹块12的表面固定有衬垫13,所述转轴6的底端安装有底轴14,所述底轴14的外侧壁安装有发条弹簧15,所述旋转台5的右侧设置有固定孔16,所述固定孔16的内部设置有固定栓17。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人河南凯卫仕环保科技有限公司,其通讯地址为:450000 河南省郑州市郑东新区平安大道路北、博学路东融创文化大厦8层033号房;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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