天津大学;诺思(天津)微系统有限责任公司张孟伦获国家专利权
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龙图腾网获悉天津大学;诺思(天津)微系统有限责任公司申请的专利带弧形结构的薄膜封装的MEMS器件组件及电子设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111010101B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201910186408.5，技术领域涉及：H03H3/02；该发明授权带弧形结构的薄膜封装的MEMS器件组件及电子设备是由张孟伦;庞慰;杨清瑞设计研发完成，并于2019-03-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本带弧形结构的薄膜封装的MEMS器件组件及电子设备在说明书摘要公布了：本发明涉及一种MEMS器件组件，包括：MEMS器件，具有封装表面；封装薄膜，用于形成封装所述MEMS器件的封装空间，所述封装薄膜具有顶部、边缘部和在顶部与边缘部之间的连接部，由所述边缘部、连接部和顶部限定所述封装空间，且所述边缘部设置于所述封装表面，其中：所述连接部为弧形。所述封装薄膜与所述封装表面形成的夹角可在2度‑45度的范围内。所述封装空间可为弧形空间。该MEMS器件可以为薄膜体声波谐振器。本发明还涉及一种具有上述MEMS器件组件的电子设备。
本发明授权带弧形结构的薄膜封装的MEMS器件组件及电子设备在权利要求书中公布了：1.一种MEMS器件组件，包括： MEMS器件，具有封装表面； 封装薄膜，用于形成封装所述MEMS器件的封装空间，所述封装薄膜具有顶部、边缘部和在顶部与边缘部之间的连接部，由所述边缘部、连接部和顶部限定所述封装空间，且所述边缘部设置于所述封装表面， 其中： 所述连接部为弧形，所述连接部与所述边缘部连接的圆弧向内凹，所述连接部与所述顶部连接的圆弧向外凹，以减小封装薄膜在边界处的薄膜应力。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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