株式会社斯库林集团高桥朋宏获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利衬底处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114334716B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111172547.6，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权衬底处理装置是由高桥朋宏;武知圭;佐佐木光敏;秋山刚志设计研发完成，并于2021-10-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本衬底处理装置在说明书摘要公布了：本发明的课题是，在将衬底W浸渍于处理槽821中贮存的处理液内，并且在处理液内向所述衬底W供给气泡而对其进行处理的衬底处理系统1中，缩小气泡V的尺寸，提高衬底的处理品质。本发明是一种衬底处理装置，包含：处理液喷出部830，形成处理液的液流L，该液流L从保持于衬底保持部810的衬底W的下方沿着衬底W流向上方；及气泡供给部840，配置在处理液喷出部830与衬底保持部810之间，向处理槽821中贮存的处理液内供给气泡V；且气泡供给部840具有：气体供给管842，向内部供给气体；及气泡喷出口845，设置于气体供给管842，向衬底的排列方向喷出气泡V。
本发明授权衬底处理装置在权利要求书中公布了：1.一种衬底处理装置，其特征在于包含： 处理槽，贮存将衬底浸渍而加以处理的处理液； 衬底保持部，在所述处理槽内，使所述衬底在水平方向上相互隔开地排列，将所述衬底呈立起姿势加以保持； 处理液喷出部，形成所述处理液的液流，该液流从保持于所述衬底保持部的所述衬底的下方沿着所述衬底流向上方；及 气泡供给部，配置在所述处理液喷出部与所述衬底保持部之间，向所述处理槽中贮存的所述处理液内供给气泡；且 所述气泡供给部具有：气体供给管，向内部供给气体；及气泡喷出口，设置于所述气体供给管，向所述衬底的排列方向喷出气泡。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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