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龙图腾网获悉北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)申请的专利一种投影物镜的畸变测量装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114594660B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210252976.2，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种投影物镜的畸变测量装置及方法是由宁金娜;宫晨;孙明睿设计研发完成，并于2022-03-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种投影物镜的畸变测量装置及方法在说明书摘要公布了：本申请实施例提供的一种投影物镜的畸变测量装置及方法，畸变测量装置包括：控制器、第一光源设备、针孔掩模板、可移动工作台、波前分析仪和干涉仪设备；第一光源设备和可移动工作台之间间隔设置有针孔掩模板；干涉仪设备产生的激光光束投射在可移动工作台上；控制器分别与第一光源设备、可移动工作台、波前分析仪和干涉仪设备分别连接，用于控制第一光源设备和可移动工作台在水平和或垂直方向移动；控制器根据获取到的各针孔的物点坐标、第一像点坐标、第二像点坐标、光线能量值以及光线偏离斜率，确定待测投影物镜的畸变以及实际倍率。通过引入针孔掩模板进行投影物镜的畸变以及倍率的测量，简化了测试过程和测试装置，从而提高了测试效率。

本发明授权一种投影物镜的畸变测量装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种投影物镜的畸变测量方法，其特征在于，所述畸变测量方法应用于畸变测量装置中的控制器，畸变测量装置还包括：第一光源设备、针孔掩模板、可移动工作台、波前分析仪和干涉仪设备，其中，第一光源设备和可移动工作台水平间隔设置，第一光源设备和可移动工作台之间间隔设置有针孔掩模板，所述针孔掩模板上设有由多个针孔形成的矩形针孔阵列，在所述针孔掩模板的各边缘与所述矩形针孔阵列的边缘之间的区域内设置有对准孔，第一光源设备发射的光经由针孔、待测投影物镜，形成该针孔对应的像点，波前分析仪设置在所述可移动工作台上，所述干涉仪设备产生的激光光束投射在所述可移动工作台上，待测投影物镜被固定在所述波前分析仪与所述针孔掩模板之间； 其中，所述畸变测量方法包括： 控制第一光源设备分别移动到任意两个对准孔所在位置，以实现第一光源设备与针孔掩模板、以及可移动工作台与针孔掩模板之间的第一次对准； 控制第一光源设备分别移动到任意选取的至少三个针孔所在位置，并通过所述第一光源设备和所述可移动工作台获取该任意选取的至少三个针孔对应的物点坐标和第一像点坐标，以实现第一光源设备与针孔掩模板、以及可移动工作台与针孔掩模板之间的第二次对准； 根据获取到的任意选取的至少三个针孔分别对应的物点坐标和第一像点坐标，拟合出除该任意选取的至少三个针孔之外的其余针孔对应的物点坐标和第一像点坐标以及矩形针孔阵列中心点的物点坐标和第一像点坐标； 根据矩形针孔阵列中心点的物点坐标和第一像点坐标，控制可移动工作台移动到所述矩形针孔阵列中心点的第一像点坐标所在位置，并将该位置作为所述干涉仪设备的坐标原点，拟合出各针孔的理论像点坐标； 针对矩形针孔阵列中的每个针孔，控制第一光源设备移动到该针孔对应的物点坐标所在位置，以获取所述第一光源设备发出的光经由该针孔在所述可移动工作台上形成的像点，控制可移动工作台进行移动，以使所述波前分析仪到达该针孔对应的第一像点坐标所在位置； 针对矩形针孔阵列中的每个针孔，通过波前分析仪采集该针孔对应的像点的光线偏离斜率，根据该针孔对应的光线偏离斜率，获取所述干涉仪设备记录的该针孔像点的第二像点坐标； 针对矩形针孔阵列中的每个针孔，根据该针孔对应的第二像点坐标获取该针孔的像点对应的实际像点坐标； 根据各针孔对应的实际像点坐标和理论像点坐标，确定待测投影物镜的畸变以及实际倍率。

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