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天狼芯半导体(成都)有限公司王威获国家专利权

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龙图腾网获悉天狼芯半导体(成都)有限公司申请的专利一种氮化镓功率器件、制备方法及芯片获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115548096B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211310498.2,技术领域涉及:H10D62/10;该发明授权一种氮化镓功率器件、制备方法及芯片是由王威;黄汇钦设计研发完成,并于2022-10-25向国家知识产权局提交的专利申请。

一种氮化镓功率器件、制备方法及芯片在说明书摘要公布了:本申请属于半导体技术领域,提供了一种氮化镓功率器件、制备方法及芯片,氮化镓功率器件包括:半导体衬底、沟道层、第一势垒层、第二势垒层、第一P柱、第二P柱、源极电极、漏极电极以及栅极电极;通过设置栅极电极为肖特基金属,且栅极电极与第一P柱、第二P柱接触,使得是栅极电极与第一P柱之间为肖特基接触,栅极电极与第二P柱之间为肖特基接触,可以使得栅极电极与第一P柱、第二P柱之间存在较高的肖特基势垒高度,进而减小栅极电极的泄漏电流,提供较高的正向阈值电压,从而提升氮化镓功率器件的性能,拓展氮化镓功率器件应用范围。

本发明授权一种氮化镓功率器件、制备方法及芯片在权利要求书中公布了:1.一种氮化镓功率器件,其特征在于,所述氮化镓功率器件包括: 半导体衬底; 沟道层,设于所述半导体衬底上; 第一势垒层,设于所述半导体衬底上,且与所述沟道层的第一面接触; 第二势垒层,设于所述半导体衬底上,且与所述沟道层的第二面接触; 第一P柱,设于所述半导体衬底上,且所述第一势垒层设于所述第一P柱和所述沟道层之间; 第二P柱,设于所述半导体衬底上,且所述第二势垒层设于所述第二P柱和所述沟道层之间; 源极电极,设于所述半导体衬底上,且所述源极电极分别与所述沟道层的第一端、所述第一势垒层的第一端以及所述第二势垒层的第一端接触; 漏极电极,设于所述半导体衬底上,且所述漏极电极分别与所述沟道层的第二端、所述第一势垒层的第二端以及所述第二势垒层的第二端接触; 栅极电极,设于所述沟道层、所述第一势垒层、所述第二势垒层、所述第一P柱以及所述第二P柱上; 其中,所述栅极电极为肖特基金属; 所述第一P柱到所述源极电极的距离与所述第一P柱到所述漏极电极的距离相同。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人天狼芯半导体(成都)有限公司,其通讯地址为:610000 四川省成都市高新区吉泰路5路88号香年广场T3栋4201室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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