株式会社斯库林集团田原香奈获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利衬底处理方法及衬底处理装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115769342B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180047544.1,技术领域涉及:H10P50/68;该发明授权衬底处理方法及衬底处理装置是由田原香奈设计研发完成,并于2021-06-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本衬底处理方法及衬底处理装置在说明书摘要公布了:衬底处理方法包括:第1处理液供给工序,将包含硫酸及过氧化氢水中的一者的第1处理液涂布于衬底的表面;第2处理液供给工序,将包含硫酸及过氧化氢水中的另一者且粘度比前述第1处理液低的第2处理液供给至涂布有前述第1处理液的前述衬底的表面;混合液处理工序,利用前述第1处理液及前述第2处理液在前述衬底的表面混合而生成的硫酸过氧化氢水混合液对前述衬底的表面进行处理;冲洗工序,在前述混合液处理工序之后,向前述衬底供给冲洗液,从而将前述硫酸过氧化氢水混合液从前述衬底的表面冲走。
本发明授权衬底处理方法及衬底处理装置在权利要求书中公布了:1.衬底处理方法,其包括: 第1处理液供给工序,将包含硫酸及过氧化氢水中的一者以及增黏剂的第1处理液涂布于衬底的表面,从而形成覆盖所述衬底的表面的整个区域的涂布膜; 第2处理液供给工序,将包含硫酸及过氧化氢水中的另一者且粘度比所述第1处理液低的第2处理液供给至形成于所述衬底的表面的所述第1处理液的所述涂布膜的表面; 混合液处理工序,利用形成所述涂布膜的所述第1处理液及所述第2处理液在所述衬底的表面混合而生成的硫酸过氧化氢水混合液对所述衬底的表面的整个区域进行处理;和 冲洗工序,在所述混合液处理工序之后,向所述衬底供给冲洗液,从而将所述硫酸过氧化氢水混合液从所述衬底的表面冲走。
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