芯恩(青岛)集成电路有限公司柳栋宝获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利用于清洗晶圆研磨垫的喷淋装置及化学机械研磨装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223981658U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520690045.X，技术领域涉及：B24B37/10；该实用新型用于清洗晶圆研磨垫的喷淋装置及化学机械研磨装置是由柳栋宝设计研发完成，并于2025-04-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于清洗晶圆研磨垫的喷淋装置及化学机械研磨装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种用于清洗晶圆研磨垫的喷淋装置及化学机械研磨装置，其中喷淋装置包括连接管；清洗件，具有连接部和清洗部，连接部沿其轴向开设有第一通道，连接部的部分可转动的设于连接管内，清洗部沿其轴向开设有第二通道，第二通道与第一通道连通，清洗部的侧壁上还开设有清洗孔，清洗孔与第二通道连通；当供液源朝连接管内输送清洗液时，会带动清洗件旋转。本实用新型提供的喷淋装置通过将清洗件可转动的设于连接管内，当往连接管和清洗件内输送清洗液时，由于水流水压的作用，会使清洗件旋转，清洗件在旋转的过程中会增大清洗孔喷洒的面积，从而提高了对研磨垫上研磨屑的清理效果，增加了对晶圆研磨的可靠性。
本实用新型用于清洗晶圆研磨垫的喷淋装置及化学机械研磨装置在权利要求书中公布了：1.一种用于清洗晶圆研磨垫的喷淋装置，其特征在于，包括： 连接管，一端用于连接供液源； 清洗件，具有连接部和清洗部，所述连接部沿其轴向开设有第一通道，所述连接部的部分可转动的设于所述连接管内，所述清洗部沿其轴向开设有第二通道，所述第二通道与所述第一通道连通，所述清洗部的侧壁上还开设有清洗孔，所述清洗孔与所述第二通道连通； 当所述供液源朝所述连接管内输送清洗液时，清洗液会依次通过所述第一通道和所述第二通道，最后通过所述清洗孔排出，并且在清洗液流动的过程中会带动所述清洗件旋转。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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