广东大族半导体装备科技有限公司李迁获国家专利权
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龙图腾网获悉广东大族半导体装备科技有限公司申请的专利晶锭剥离设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223981960U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520412464.7,技术领域涉及:B28D5/00;该实用新型晶锭剥离设备是由李迁;陈文乔;巫礼杰;王帆帆;韩子娟;尹建刚设计研发完成,并于2025-03-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶锭剥离设备在说明书摘要公布了:本申请适用于半导体加工技术领域,提供一种晶锭剥离设备,包括:安装部件;用于承载和固定晶锭的载台,设置于所述安装部件;用于放置所述晶锭的放置座,设置于所述安装部件;用于吸附所述晶锭的吸附组件;移动组件,连接于所述吸附组件,以带动所述吸附组件从所述晶锭剥离出片状子部件,并带动所述吸附组件沿所述晶锭剥离设备的长度方向从所述载台移动至所述放置座。本申请的实施例提供的晶锭剥离设备能降低成本。
本实用新型晶锭剥离设备在权利要求书中公布了:1.一种晶锭剥离设备,其特征在于,包括: 安装部件; 用于承载和固定晶锭的载台,设置于所述安装部件; 用于放置所述晶锭的放置座,设置于所述安装部件; 用于吸附所述晶锭的吸附组件; 移动组件,连接于所述吸附组件,以带动所述吸附组件从所述晶锭剥离出片状子部件,并带动所述吸附组件沿所述晶锭剥离设备的长度方向从所述载台移动至所述放置座。
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