中科艾科米(北京)科技有限公司黄玉获国家专利权
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龙图腾网获悉中科艾科米(北京)科技有限公司申请的专利一种多坩埚蒸发源获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223983714U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520269502.8，技术领域涉及：C23C14/24；该实用新型一种多坩埚蒸发源是由黄玉;尹晟皓;何汶芙;陈微设计研发完成，并于2025-02-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多坩埚蒸发源在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种多坩埚蒸发源，包括坩埚台、第一螺杆、水冷组件与法兰，其中，所述水冷组件包括水冷管，所述水冷管穿过所述法兰后从所述坩埚台的底部的预留孔伸入到所述坩埚台内；所述坩埚台用于安装多个所述坩埚，所述坩埚台的一侧设有可打开的侧盖，使得所述水冷管通过可打开的所述侧盖可拆卸地安装入所述坩埚台的内部；所述坩埚台与所述法兰之间通过所述第一螺杆可拆卸地连接；所述水冷管和所述坩埚台、所述法兰之间可拆卸地连接。通过设置可拆卸的水冷管，使得法兰、坩埚台与水冷管可分离，以实现在使用不同蒸距时可直接更换不同长度的水冷管，避免拆卸安装繁琐，从而增加蒸发源的使用场景。
本实用新型一种多坩埚蒸发源在权利要求书中公布了：1.一种多坩埚蒸发源，其特征在于，包括坩埚台、第一螺杆、水冷组件与法兰，其中， 所述水冷组件包括水冷管，所述水冷管穿过所述法兰后从所述坩埚台的底部的预留孔伸入到所述坩埚台内； 所述坩埚台用于安装多个所述坩埚，所述坩埚台的一侧设有可打开的侧盖，使得所述水冷管通过可打开的所述侧盖可拆卸地安装入所述坩埚台的内部； 所述坩埚台与所述法兰之间通过所述第一螺杆可拆卸地连接； 所述水冷管和所述坩埚台、所述法兰之间可拆卸地连接。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中科艾科米(北京)科技有限公司，其通讯地址为：101407 北京市怀柔区雁栖经济开发区兴科东大街11号院7号楼南端一至二层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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