芯恩(青岛)集成电路有限公司徐海瑞获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利一种化学气相沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223983724U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520548396.7，技术领域涉及：C23C16/44；该实用新型一种化学气相沉积设备是由徐海瑞;林吕勇;张显;孔贺廷;张迪设计研发完成，并于2025-03-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种化学气相沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种化学气相沉积设备，包括反应腔；排出管道，一端与所述反应腔连通，另一端用于连接泵；远程等离子体源，通过第一管道与所述反应腔连通；第二管道，一端与所述第一管道连通，另一端与所述排出管道连通。本实用新型提供的化学气相沉积设备将远程等离子体源通过第一管道与反应腔连通，以及通过第二管道将远程等离子体源与排出管道连接，远程等离子体源输送的等离子体比如氟离子可以与反应腔内和排出管道内的污染颗粒物反应，最后通过泵将反应后的产物从反应腔和排出管道内抽离，以保证反应腔和排出管道内的清洁度，避免晶圆被污染，提高了对晶圆处理的可靠性。
本实用新型一种化学气相沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种化学气相沉积设备，其特征在于，包括： 反应腔； 排出管道，一端与所述反应腔连通，另一端用于连接泵； 远程等离子体源，通过第一管道与所述反应腔连通； 第二管道，一端与所述第一管道连通，另一端与所述排出管道连通。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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