柔电(武汉)科技有限公司解明获国家专利权
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龙图腾网获悉柔电(武汉)科技有限公司申请的专利一种前驱体输送系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223983727U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520657232.8，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种前驱体输送系统是由解明;肖翌;文汉;夏爽设计研发完成，并于2025-04-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种前驱体输送系统在说明书摘要公布了：本实用新型公布了一种前驱体输送系统，包括至少两种前驱体气源、惰性气体气源、超声装置和第一输送管、第二输送管，其中，所述反应器上游通过第二输送管连接至前驱体气源，第二输送管还通过第一输送管连接至惰性气体气源，第二输送管上均设置有控制阀，前驱体气源的出口上也均设有出气控制阀，超声装置均与前驱体气源连接，用于雾化前驱体气源中的前驱体，所述前驱体气源位于第一加热箱内保持第一温度，第二输送管位于第二加热箱内保持第二温度，第二温度大于第一温度，第一温度大于前驱体挥发温度。通过精密的供气模块设计以及气流稳定性调整机制，可精确控制前驱体的输送流量，保证前驱体源通入的稳定性，有效提升前驱体输送效率，提升薄膜的工艺效果。
本实用新型一种前驱体输送系统在权利要求书中公布了：1.一种前驱体输送系统，用于将前驱体输送至反应器中处理，其特征在于，包括至少两种前驱体气源、惰性气体气源、超声装置和第一输送管、第二输送管，其中，所述反应器上游与每个前驱体气源通过独立的第二输送管连通，每根第二输送管还通过独立的第一输送管连接至惰性气体气源，每根第二输送管上均设置有控制阀，前驱体气源的出口上也均设有出气控制阀，所述前驱体气源位于第一加热箱内保持第一温度，第二输送管位于第二加热箱内保持第二温度，第二温度大于第一温度，第一温度大于前驱体挥发温度。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人柔电(武汉)科技有限公司，其通讯地址为：430205 湖北省武汉市东湖新技术开发区佛祖岭街道高新四路28号武汉光谷电子工业园三期4号厂房栋4层01号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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