广东省新兴激光等离子体技术研究院;北京大学朱昆获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉广东省新兴激光等离子体技术研究院;北京大学申请的专利组合式MPCVD谐振腔体及MPCVD设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223983728U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520202217.4，技术领域涉及：C23C16/511；该实用新型组合式MPCVD谐振腔体及MPCVD设备是由朱昆;张蔡婕;颜学庆设计研发完成，并于2025-02-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本组合式MPCVD谐振腔体及MPCVD设备在说明书摘要公布了：本申请提供一种组合式MPCVD谐振腔体及MPCVD设备，所述MPCVD谐振腔体，包括：固定结构设计的腔体顶部和腔体底部，以及多种规格的可替换的中间腔壁主体；所述腔体顶部上固定设有进气口；所述腔体底部固定设有微波馈入口、沉积基台和出气口；所述中间腔壁主体具有设定形状的腔壁结构，且中间腔壁主体上下表面上分别设有密封件；所述腔体顶部与腔体底部连接；各个所述中间腔壁主体通过可拆卸方式连接在所述腔体顶部与腔体底部之间，且通过所述密封件与所述腔体顶部与腔体底部进行密封连接；该技术方案，适用于不同生长工艺的金刚石的沉积需求，提升了沉积灵活性。
本实用新型组合式MPCVD谐振腔体及MPCVD设备在权利要求书中公布了：1.一种组合式MPCVD谐振腔体，其特征在于，包括：固定结构设计的腔体顶部01和腔体底部02，以及多种规格的可替换的中间腔壁主体03； 所述腔体顶部01上固定设有进气口11； 所述腔体底部02固定设有微波馈入口21、沉积基台22和出气口； 所述中间腔壁主体03具有设定形状的腔壁结构31，且中间腔壁主体03上下表面上分别设有密封件30； 所述腔体顶部01与腔体底部02连接； 各个所述中间腔壁主体03通过可拆卸方式连接在所述腔体顶部01与腔体底部02之间，且通过所述密封件30与所述腔体顶部01与腔体底部02进行密封连接。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人广东省新兴激光等离子体技术研究院;北京大学，其通讯地址为：510000 广东省广州市白云区龙归街科泰二路13-19号白云高新区·产业创新园17号第5栋整栋；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励