上海微电子装备(集团)股份有限公司;上海隐冠半导体技术股份有限公司赵子勤获国家专利权
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龙图腾网获悉上海微电子装备(集团)股份有限公司;上海隐冠半导体技术股份有限公司申请的专利直线电机、可变狭缝装置及曝光设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223987027U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520606744.1，技术领域涉及：H02K41/02；该实用新型直线电机、可变狭缝装置及曝光设备是由赵子勤;施艳春设计研发完成，并于2025-04-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本直线电机、可变狭缝装置及曝光设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种直线电机、可变狭缝装置及曝光设备，直线电机的出力方向为第一方向，直线电机包括定子和动子，定子包括背铁和电磁模块，动子包括磁铁模块，电磁模块、磁铁模块和背铁沿与第一方向垂直的第二方向依次排布，且磁铁模块和背铁与电磁模块均存在间隙。如此，向电磁模块中通入交流电从而产生在第一方向上变化的行波磁场，与磁铁模块的励磁磁场产生行程方向上的电磁力，从而推动磁铁模块在第一方向上运动。电磁模块中的铁芯和背铁对磁铁模块分别产生在第二方向上的磁吸力也即法向吸引力，且这两个磁吸力的方向相反，通过设置磁铁模块和所述背铁与所述电磁模块之间均存在间隙，可利用该间隙来平衡这两个磁吸力。
本实用新型直线电机、可变狭缝装置及曝光设备在权利要求书中公布了：1.一种直线电机，所述直线电机的出力方向为第一方向，其特征在于，所述直线电机包括： 定子，包括背铁和电磁模块； 动子，包括磁铁模块；所述电磁模块、所述磁铁模块和所述背铁沿与所述第一方向垂直的第二方向依次排布，且所述磁铁模块和所述背铁与所述电磁模块均存在间隙。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海微电子装备(集团)股份有限公司;上海隐冠半导体技术股份有限公司，其通讯地址为：201203 上海市浦东新区张东路1525号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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