新毅东(北京)科技有限公司张琪获国家专利权
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龙图腾网获悉新毅东(北京)科技有限公司申请的专利光传感器温度控制电路和光刻机获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223987313U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520599933.0,技术领域涉及:H05K7/20;该实用新型光传感器温度控制电路和光刻机是由张琪;符友银;祝天峰设计研发完成,并于2025-04-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本光传感器温度控制电路和光刻机在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种光传感器温度控制电路和光刻机,属于温度控制技术领域。光传感器温度控制电路包括:温度传感器和冷却片,分别贴附于光传感器上的不同位置;冷却片驱动模块,用于根据冷却片驱动模块的控制端接入的信号驱动冷却片对光传感器进行冷却;至少两个反馈控制模块;反馈控制模块连接温度传感器的输出端,用于根据温度传感器输出的温度信号输出冷却控制信号;跳线选择模块,包括与反馈控制模块数量相同的跳线单元;各跳线单元的第一连接端一一对应连接各反馈控制模块的输出端,各跳线单元的第二连接端均连接冷却片驱动模块的控制端。本实用新型实施例可以稳定光传感器的温度,从而提升光传感器检测结果的准确性,提升曝光效果。
本实用新型光传感器温度控制电路和光刻机在权利要求书中公布了:1.一种光传感器温度控制电路,其特征在于,包括: 温度传感器,贴附于光传感器上; 冷却片,与所述温度传感器贴附于所述光传感器上的不同位置; 冷却片驱动模块,连接所述冷却片,用于根据所述冷却片驱动模块的控制端接入的信号驱动所述冷却片对所述光传感器进行冷却; 至少两个反馈控制模块;所述反馈控制模块连接所述温度传感器的输出端,所述反馈控制模块用于根据所述温度传感器输出的温度信号输出冷却控制信号; 跳线选择模块,包括与所述反馈控制模块数量相同的跳线单元;各所述跳线单元的第一连接端一一对应连接各所述反馈控制模块的输出端,各所述跳线单元的第二连接端均连接所述冷却片驱动模块的控制端。
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