买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉上海谙邦半导体设备有限公司申请的专利晶圆搬运装置、真空反应腔以及半导体工艺设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223987363U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520666855.1，技术领域涉及：H10P72/30；该实用新型晶圆搬运装置、真空反应腔以及半导体工艺设备是由李贤威;王兆祥;梁洁;涂乐义;李可;唐乐;彭国发;吴可学设计研发完成，并于2025-04-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆搬运装置、真空反应腔以及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种晶圆搬运装置、真空反应腔以及半导体工艺设备，该搬运装置包括限位机构，当搬运手指转动至位于载台上方时，限位块转动至位于第一上限位开关和第一下限位开关之间；在搬运手指的高度接近真空反应腔的顶部时，限位块触发第一上限位开关；在搬运手指的高度接近载台时，限位块触发第一下限位开关；当搬运手指转动至离开载台上方时，限位块转动至位于第二上限位开关和第二下限位开关之间；在搬运手指的高度接近狭缝的顶部时，限位块触发第二上限位开关；在搬运手指的高度接近狭缝的底部时，限位块触发第二下限位开关。本实用新型增加了限位功能，能够提升晶圆搬运的安全性。

本实用新型晶圆搬运装置、真空反应腔以及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆搬运装置，其特征在于，包括载台、搬运手指、顶针杆、第一驱动装置以及限位机构； 所述载台上设有可升降的顶针，所述顶针杆竖直设置在所述载台的一侧，所述顶针杆的顶部通过连杆与用于搬运晶圆的搬运手指连接，所述第一驱动装置用于带动所述顶针杆升降及转动，以带动所述搬运手指升降以及由真空反应腔经狭缝旋转至真空锁内； 所述限位机构包括安装在所述顶针杆上的限位块、以及邻近所述顶针杆纵向设置的第一安装杆和第二安装杆，且所述第一安装杆上安装有相对设置的第一上限位开关和第一下限位开关，所述第二安装杆上安装有相对设置的第二上限位开关和第二下限位开关； 当所述搬运手指转动至位于所述载台上方时，所述限位块转动至位于所述第一上限位开关和第一下限位开关之间；在所述搬运手指的高度接近所述真空反应腔的顶部时，所述限位块触发所述第一上限位开关；在所述搬运手指的高度接近所述载台时，所述限位块触发所述第一下限位开关； 当所述搬运手指转动至离开所述载台上方时，所述限位块转动至位于所述第二上限位开关和第二下限位开关之间；在所述搬运手指的高度接近所述狭缝的顶部时，所述限位块触发所述第二上限位开关；在所述搬运手指的高度接近所述狭缝的底部时，所述限位块触发所述第二下限位开关。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海谙邦半导体设备有限公司，其通讯地址为：201304 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区洲德路1588号2幢2座；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。