嘉兴微拓电子科技股份有限公司王博获国家专利权
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龙图腾网获悉嘉兴微拓电子科技股份有限公司申请的专利一种用于晶圆位置调控的二次预对准装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223987364U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520095047.4，技术领域涉及：H10P72/50；该实用新型一种用于晶圆位置调控的二次预对准装置是由王博设计研发完成，并于2025-01-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于晶圆位置调控的二次预对准装置在说明书摘要公布了：本实用新型提出提出一种用于晶圆位置调控的二次预对准装置，其包括支撑装配组件、承载定位组件、转接导向组件、调控驱动组件、弹性紧合组件及推送移位组件，该对准装置通过交叉滚子直线导轨组成的转接导向组件进行精确导向，承载定位组件可以在支撑装配组件上实现高精度的移动，在晶圆对准操作过程中，有助于减少定位误差，提高生产效率，弹性紧合组件使得承载定位组件在移动过程中能够保持稳定的紧合状态，避免因松动或晃动而导致的定位不准确问题，进一步提升对准的精确度和稳定性，整个装置的结构设计紧凑，各组件之间的配合紧密且合理，使得整个设备在占用空间较小的同时，仍然能够保持高效的工作性能和稳定的运行状态。
本实用新型一种用于晶圆位置调控的二次预对准装置在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆位置调控的二次预对准装置，其特征在于，包括： 支撑装配组件，该支撑装配组件通过连接件安装于机架中，其内部具有装配空间； 承载定位组件，该承载定位组件与支撑装配组件形状适配，其内部具有承载空间； 转接导向组件，该转接导向组件分别与支撑装配组件及承载定位组件配合，使承载定位组件可通过转接导向组件在支撑装配组件上移动，由转接导向组件对其移动过程进行导向； 调控驱动组件，该调控驱动组件安装于支撑装配组件中，并与承载定位组件配合，由调控驱动组件带动承载定位组件移动； 弹性紧合组件，该弹性紧合组件安装于支撑装配组件与承载定位组件之间，由弹性紧合组件对承载定位组件施加弹力，使承载定位组件处于紧合状态； 推送移位组件，该推送移位组件组件通过活动结构安装于支撑装配组件中，其与承载定位组件接合，并与晶圆形状适配，由承载定位组件带动推送移动组件移动，并由推送移位组件带动晶圆移动。
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