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龙图腾网获悉江苏先导微电子科技有限公司申请的专利一种双面多层镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223991132U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520275346.6，技术领域涉及：C23C14/34；该实用新型一种双面多层镀膜设备是由牛二辉;陈彪;林循恩;孙永杰;陈勇;曹欢欢;牛晓琳;贺凌晨;周宇;徐忠堂设计研发完成，并于2025-02-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种双面多层镀膜设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及真空镀膜领域，公开了一种双面多层镀膜设备，包括壳体和盖板，壳体设有传动腔和镀膜腔；盖板与壳体贴合以密闭传动腔及镀膜腔；盖板对应于传动腔的一侧设置有放卷结构和第一追踪结构；放卷结构包括第一安装座、第一驱动单元及导轨组，第一安装座设有第一转轴，第一转轴卷绕有待镀膜基材，第一驱动单元的一端与导轨组传动连接，第一安装座与导轨组传动连接，第一驱动单元被配置为驱动导轨组转动以使第一安装座沿导轨组的长度方向运动来调节基材的位置；第一追踪结构用于监测基材放卷后的偏移状态；本实用新型能够在监测到基材位置出现偏移后及时通过导轨组调整第一安装座的位置，进而调整基材放卷位置，解决基材放卷后的褶皱问题。

本实用新型一种双面多层镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种双面多层镀膜设备，其特征在于，包括： 壳体，所述壳体内分隔设置有传动腔和多个镀膜腔；所述镀膜腔内设有用于镀膜的阴极组； 盖板，所述盖板与所述壳体贴合以密闭所述传动腔及所述镀膜腔；所述盖板对应于所述传动腔的一侧设置有放卷结构、第一追踪结构、第一冷却主辊、调面结构、第二冷却主辊以及收卷结构； 所述放卷结构包括第一安装座、第一驱动单元以及导轨组，所述第一安装座设有第一转轴，所述第一转轴卷绕有待镀膜的基材，所述导轨组设置于所述传动腔内，所述第一驱动单元的一端固定于所述壳体的内壁，所述第一驱动单元的另一端与所述导轨组传动连接，所述第一安装座与所述导轨组传动连接，所述第一驱动单元被配置为驱动所述导轨组转动以使所述第一安装座沿所述导轨组的长度方向运动来调节所述基材的位置； 所述第一追踪结构用于监测基材放卷后的偏移状态；所述第一冷却主辊及所述第二冷却主辊均用于驱动基材在所述传动腔与所述镀膜腔之间移动以完成镀膜；所述调面结构用于切换第一冷却主辊及第二冷却主辊上基材衬底的镀膜面；所述收卷结构用于镀膜后膜层的收卷和纠偏。

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