本源量子计算科技(合肥)股份有限公司杨晖获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉本源量子计算科技(合肥)股份有限公司申请的专利溅射镀膜装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223991133U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520356233.9，技术领域涉及：C23C14/34；该实用新型溅射镀膜装置是由杨晖;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本溅射镀膜装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种溅射镀膜装置，属于芯片制备技术领域。该装置包括：用于产生高能粒子的溅射镀膜装置；位于高能粒子的传输路径上用于放置靶材的靶材载台，高能粒子轰击靶材产生溅射粒子；位于溅射粒子的传输路径上用于放置样品的样品载台；位于靶材载台和样品载台之间的筛选模块，用于筛选运动角度满足预设角度条件的溅射粒子作为目标溅射粒子，并使目标溅射粒子溅射至样品表面形成薄膜。上述溅射镀膜装置中，通过在靶材载台和样品载台之间增加筛选模块，利用筛选模块筛选运动角度满足预设角度条件的目标溅射粒子，使目标溅射粒子在样品表面形成薄膜，可提高溅射镀膜过程中溅射粒子方向的可控性。
本实用新型溅射镀膜装置在权利要求书中公布了：1.一种溅射镀膜装置，其特征在于，所述装置包括： 溅射粒子源，用于产生高能粒子； 靶材载台，位于所述高能粒子的传输路径，用于放置靶材，所述高能粒子用于轰击所述靶材产生溅射粒子； 样品载台，位于所述溅射粒子的传输路径，用于放置样品； 筛选模块，位于所述靶材载台和所述样品载台之间，用于筛选运动角度满足预设角度条件的溅射粒子作为目标溅射粒子，并使所述目标溅射粒子溅射至所述样品表面形成薄膜。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人本源量子计算科技(合肥)股份有限公司，其通讯地址为：230088 安徽省合肥市高新区城西桥社区服务中心望江西路900号中安创谷科技园一期D8幢；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励