江苏先导微电子科技有限公司轩苏兵获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏先导微电子科技有限公司申请的专利一种晶圆水平传送机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223991134U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423130190.7，技术领域涉及：C23C14/50；该实用新型一种晶圆水平传送机构是由轩苏兵;樊俊;聂伟华设计研发完成，并于2024-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆水平传送机构在说明书摘要公布了：本申请涉及真空镀膜技术领域，具体公开了一种晶圆水平传送机构，包括：真空腔体、传动组件与晶圆托盘；传动组件包括：传动电机、丝杆、滑动座、滑动支座和传送带；滑动座可滑动设置于真空腔体内；滑动支座固定连接滑动座；丝杆可转动设置于真空腔体内，且与滑动座啮合连接；传动电机设置于真空腔体上，且传动电机的输出端与丝杆传动连接；真空腔体内固定设置有固定块；传送带相对于滑动支座可移动设置于滑动支座上，且传送带与固定块固定连接；晶圆托盘固定连接传送带。本方案中，通过传动组件能够带动晶圆托盘移动，实现对晶圆托盘的自动化传送；同时，滑动支座和传送带能够同时传送晶圆托盘，从而进一步提高对晶圆托盘的传送效率。
本实用新型一种晶圆水平传送机构在权利要求书中公布了：1.一种晶圆水平传送机构，其特征在于，包括：真空腔体10、传动组件20与晶圆托盘30； 所述传动组件20包括：传动电机21、丝杆22、滑动座23、滑动支座24和传送带25； 所述滑动座23可滑动设置于所述真空腔体10内； 所述滑动支座24固定连接所述滑动座23； 所述丝杆22可转动设置于所述真空腔体10内，且与所述滑动座23啮合连接； 所述传动电机21设置于所述真空腔体10上，且所述传动电机21的输出端与所述丝杆22传动连接； 所述真空腔体10内固定设置有固定块11； 所述传送带25相对于所述滑动支座24可移动设置于所述滑动支座24上，且所述传送带25与所述固定块11固定连接； 所述晶圆托盘30固定连接所述传送带25。
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