上海芯东来半导体科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉上海芯东来半导体科技有限公司申请的专利一种六自由度精密运动台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223993042U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520558812.1，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种六自由度精密运动台是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-03-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种六自由度精密运动台在说明书摘要公布了：本实用新型属于光刻机技术领域，尤其是一种六自由度精密运动台，包括基座、宏动模块、微动模块、气浮模块和基底台，宏动模块包括X向驱动模块和Y向驱动模块，微动模块包括底座、垂向驱动模块、旋转驱动模块和交接模块，气浮模块包括气浮左侧组件、气浮右侧组件和气浮中间组件，基底台包括微动台和基底吸盘。本实用新型中，宏动模块通过X向驱动模块和Y向驱动模块分别实现基底台在X向和Y向的移动，微动模块通过垂向驱动模块、旋转驱动模块和交接模块分别实现基底台在Z向、Rx和Ry向的调节和Rz向的调节以及基底台的上载及下载，从而可实现运动台的六自由度控制。
本实用新型一种六自由度精密运动台在权利要求书中公布了：1.一种六自由度精密运动台，包括基座1、宏动模块、微动模块、气浮模块和基底台，其特征在于，所述宏动模块包括X向驱动模块2和Y向驱动模块3，所述微动模块包括底座4、垂向驱动模块5、旋转驱动模块6和交接模块7，所述气浮模块包括气浮左侧组件8、气浮右侧组件9和气浮中间组件10，所述基底台包括微动台11和基底吸盘12。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海芯东来半导体科技有限公司，其通讯地址为：201200 上海市浦东新区川沙新镇川宏路300号东3幢；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励