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龙图腾网获悉瑞声声学科技(深圳)有限公司申请的专利压电谐振器及其制作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113872555B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111132527.6，技术领域涉及：H03H9/02；该发明授权压电谐振器及其制作方法是由吴珂;吕丽英;杨帅;王超;庄智强;张丽蓉;吴一雷设计研发完成，并于2021-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本压电谐振器及其制作方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种压电谐振器，包括底电极；压电层，叠设于底电极之上；顶电极，叠设于压电层远离底电极的一侧；声波反射层结构，形成于底电极远离压电层的一侧；以及，顶电极引出结构，位于压电层远离底电极的一侧；底电极、压电层、顶电极以及声波反射层结构共同交叠重合形成的空间区域定义为谐振区；顶电极引出结构于谐振区内与顶电极相连，并由谐振区内延伸至谐振区外，且顶电极引出结构与顶电极向压电层的正投影部分交叠。本发明还提供一种压电谐振器的制作方法。与相关技术相比，本发明的压电谐振器制作方法可以降低压电层生长缺陷对器件性能的影响，使这种压电谐振器结构具有更高的品质因数Q以及更高的有效机电耦合系数。

本发明授权压电谐振器及其制作方法在权利要求书中公布了：1.一种压电谐振器，其特征在于，包括： 底电极； 压电层，所述压电层叠设于所述底电极之上； 顶电极，所述顶电极叠设于所述压电层远离所述底电极的一侧； 声波反射层结构，所述声波反射层结构形成于所述底电极远离所述压电层的一侧；以及， 顶电极引出结构，所述顶电极引出结构位于所述压电层远离所述底电极的一侧； 所述底电极、所述压电层、所述顶电极以及所述声波反射层结构共同交叠重合形成的空间区域定义为谐振区；所述顶电极引出结构于所述谐振区内与所述顶电极相连，并由所述谐振区内延伸至所述谐振区外，且所述顶电极引出结构与所述顶电极向所述压电层的正投影部分交叠； 所述顶电极引出结构包括至少部分位于所述谐振区内并叠设于所述顶电极远离所述压电层一侧以形成电连接的电极连接端、由所述电极连接端朝远离所述顶电极延伸至所述谐振区外的桥结构以及由所述桥结构延伸并连接到外部电路或信号线的引出端；所述顶电极引出结构通过所述电极连接端与所述顶电极连接； 所述桥结构与所述压电层间隔形成第一空气间隙，所述桥结构与所述顶电极间隔形成第二空气间隙；所述第一空气间隙至少部分位于所述谐振区内，所述第一空气间隙和所述第二空气间隙均位于所述压电层的同一侧。

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