东京毅力科创株式会社松浦和宏获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利喷嘴的位置调整方法和液处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114377891B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111109907.8，技术领域涉及：B05B15/68；该发明授权喷嘴的位置调整方法和液处理装置是由松浦和宏;羽山隆史;桾本裕一朗设计研发完成，并于2021-09-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本喷嘴的位置调整方法和液处理装置在说明书摘要公布了：本发明涉及喷嘴的位置调整方法和液处理装置。使用低分辨率的摄像图像，准确地调整喷出喷嘴相对于旋转保持部的位置。一种在液处理装置中进行喷嘴的位置调整的方法，其包括以下工序：一边使用于保持基板并使其旋转的旋转保持部在未保持基板的状态下旋转，一边利用配设为在摄像区域中包含旋转保持部的摄像部进行多次摄像；将多次的摄像结果合成并获取合成图像；利用图案匹配从合成图像确定旋转保持部在摄像图像上的位置；在使调整用喷嘴移动至基准位置的状态下利用摄像部进行摄像；根据摄像结果确定调整用喷嘴在摄像图像上的位置；以及基于根据旋转保持部在摄像图像上的位置而确定的目标位置和调整用喷嘴在摄像图像上的位置的差来校正基准位置。
本发明授权喷嘴的位置调整方法和液处理装置在权利要求书中公布了：1.一种喷嘴的位置调整方法，其是在使用从喷出喷嘴喷出来的处理液对基板进行处理的液处理装置中进行喷嘴的位置调整的方法，其中， 该喷嘴的位置调整方法包括以下工序： 一边使用于保持基板并使其旋转的旋转保持部在未保持基板的状态下旋转，一边利用以在摄像区域中包含所述旋转保持部在内的方式配设的摄像部进行多次摄像； 将所述多次的摄像结果合成并获取合成图像； 利用图案匹配从所述合成图像确定所述旋转保持部在摄像图像上的位置； 在使调整用喷嘴移动至基准位置的状态下，利用所述摄像部进行摄像； 根据使所述调整用喷嘴移动至所述基准位置的状态下的摄像结果，确定所述调整用喷嘴在摄像图像上的位置；以及 基于根据所述旋转保持部在摄像图像上的位置而确定的目标位置和所述调整用喷嘴在摄像图像上的位置的差，来校正所述基准位置。
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