细美事有限公司李泰勋获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利传送手部和基板处理装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114446857B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111282981.X,技术领域涉及:H10P72/78;该发明授权传送手部和基板处理装置是由李泰勋;金周援;宣珍成;李甫熙设计研发完成,并于2021-11-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本传送手部和基板处理装置在说明书摘要公布了:本发明构思提供一种用于传送基板的传送手部。该用于传送基板的传送手部包括:本体;和真空组件,其安装在本体中并对基板的底表面提供减压以在本体的上部支撑基板;其中真空组件包括:导电真空垫,其接触基板;和密封构件,该密封构件设置在真空垫和本体之间,该密封构件电连接至真空垫;其中密封构件接地。
本发明授权传送手部和基板处理装置在权利要求书中公布了:1.一种用于转移基板的传送手部,包括: 本体,所述本体接地;和 真空组件,所述真空组件安装在所述本体处并对所述基板的底表面提供减压以在所述本体的上表面支撑所述基板, 其中所述真空组件包括: 导电的真空垫,所述导电的真空垫接触所述基板;和 密封构件,所述密封构件设置在所述真空垫和所述本体之间并电连接至所述本体及所述真空垫, 其中所述密封构件接地, 所述密封构件由电阻值小于所述真空垫的电阻值的材料制成,并且 所述本体由电阻值小于所述密封构件的电阻值的材料制成。
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