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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利用于处理基板的装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114530395B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111391470.1，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权用于处理基板的装置是由严基象;崔晋镐;崔炳斗;李承汉;丁宣旭;金是殷设计研发完成，并于2021-11-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于处理基板的装置在说明书摘要公布了：一种基板处理装置，该装置包括：处理容器，其具有内部空间；具有支撑板的支撑单元，其配置为在内部空间中支撑和旋转基板；液体供应单元，其配置为向由支撑单元支撑的基板供应处理液；以及排气单元，其配置为排出内部空间中的气流，其中处理容器包括底壁和从底壁的外端延伸的侧壁，处理容器包括设置在侧壁处的第一气液分离板。

本发明授权用于处理基板的装置在权利要求书中公布了：1.一种用于处理基板的装置，所述装置包括： 处理容器，其具有内部空间； 具有支撑板的支撑单元，其配置为在所述内部空间中支撑和旋转所述基板； 液体供应单元，其配置为将处理液供应到由所述支撑单元支撑的所述基板； 排气单元，其配置为排出所述内部空间中的气流；以及 气流引导管，其设置为在由所述支撑单元支撑的所述基板的旋转的切线方向上引入气流， 其中，所述处理容器包括底壁和从所述底壁的外端延伸的侧壁，并且 所述处理容器包括：设置在所述侧壁处的第一气液分离板；以及设置在所述底壁处的第二气液分离板， 其中，所述第一气液分离板包括： 从所述侧壁延伸并朝向所述支撑板的旋转轴方向向上倾斜的第一部分，所述第一部分中形成有排液孔；以及 从所述第一部分的顶端向上延伸的第二部分，所述第二部分与所述第一部分共同限定用于处理液流入的上部空间，并且所述第二部分被设置在比所述支撑板低的位置处， 其中，所述内部空间包括形成在所述第一气液分离板与所述第二气液分离板的外部区域之间的排放空间、以及形成在所述第一气液分离板与所述第二气液分离板的内部区域之间的排气空间， 其中，所述排气单元安装在远离所述第二气液分离板的位置处，并且被配置为将引入所述排气空间的气流排出到外部， 其中，所述第二气液分离板设置在所述第一气液分离板的所述第一部分的下方并与所述第一部分间隔开，使得引入所述排放空间中的气流通过所述第二气液分离板引入所述排气空间， 其中，所述气流引导管位于所述处理容器的所述内部空间内， 其中，所述气流引导管设置在所述第二气液分离板和所述处理容器的内壁之间，并且 其中，所述气流引导管设置为其长度方向在上下方向上，所述气流引导管包括顶壁和侧壁，所述顶壁用作阻挡面，在所述侧壁处形成的入口朝向与由所述支撑单元支撑的所述基板的切线平行的方向，所述壁的其余部分用作阻挡面。

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