中微半导体设备(上海)股份有限公司赵宏波获国家专利权
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龙图腾网获悉中微半导体设备(上海)股份有限公司申请的专利一种等离子体处理设备、检测装置及其运行方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115527825B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110711147.1，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权一种等离子体处理设备、检测装置及其运行方法是由赵宏波设计研发完成，并于2021-06-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种等离子体处理设备、检测装置及其运行方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种等离子体处理设备、检测装置及其运行方法，其包括消耗环和探测模块，所述消耗环包括第一材料和第二材料，所述第一材料具有第一颜色，所述第二材料具有不同于第一颜色的第二颜色。所述探测模块可拆卸地与机械手连接，所述探测模块包括颜色传感器模块，所述颜色传感器模块用于检测所述消耗环颜色的变化，该方法检测简单准确，且不会给腔体带来污染。
本发明授权一种等离子体处理设备、检测装置及其运行方法在权利要求书中公布了：1.一种用于等离子体处理设备的检测装置，所述等离子体处理设备包含：腔体、基座以及机械手，所述基座置于所述腔体中用于支撑待处理的晶圆，所述机械手能够伸入所述腔体内取出所述晶圆； 其特征在于，所述检测装置包括： 消耗环，所述消耗环置于所述基座四周；所述消耗环包括第一材料和第二材料，所述第一材料具有第一颜色，所述第二材料具有不同于第一颜色的第二颜色；所述第一材料暴露于所述消耗环的上表面，所述第二材料未暴露于所述上表面； 探测模块，所述探测模块可拆卸地与机械手连接，所述探测模块包括颜色传感器模块，所述颜色传感器模块用于检测所述消耗环颜色的变化。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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