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浙江晶盛机电股份有限公司曹建伟获国家专利权

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龙图腾网获悉浙江晶盛机电股份有限公司申请的专利晶体生长设备及晶体生长设备的使用方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115747948B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211442776.X,技术领域涉及:C30B15/10;该发明授权晶体生长设备及晶体生长设备的使用方法是由曹建伟;朱亮;欧阳鹏根;叶钢飞;蒲涛设计研发完成,并于2022-11-18向国家知识产权局提交的专利申请。

晶体生长设备及晶体生长设备的使用方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种晶体生长设备及晶体生长设备的使用方法,晶体生长设备包括晶体炉以及提拉单元,提拉单元能够在到达晶体炉外与伸入晶体炉之间切换,还包括:举升单元,其包括设于晶体炉内的坩埚台;液压驱动站,其连接举升单元,用于驱动举升单元升降运动;晶体炉内预设有微动区间,坩埚台在提拉单元到达晶体炉外时能够带动坩埚在微动区间中升降运动,及在提拉单元伸入晶体炉时能够带动坩埚在微动区间下方的区域升降运动。

本发明授权晶体生长设备及晶体生长设备的使用方法在权利要求书中公布了:1.一种晶体生长设备的使用方法,所述晶体生长设备包括晶体炉10、提拉单元20、举升单元50及驱动站,所述晶体炉10包括炉底15与炉盖11,所述提拉单元20能够在到达所述晶体炉10外与伸入所述晶体炉10之间切换,所述举升单元50包括设于所述晶体炉10内的坩埚台51;所述驱动站用于驱动所述举升单元50升降运动; 所述晶体炉10内预设有微动区间,所述微动区间具有沿竖直方向设置的上极限位置和下极限位置,所述上极限位置相对靠近所述炉盖11,所述下极限位置相对靠近所述炉底15; 当坩埚处于所述上极限位置时,所述坩埚承载晶棒;当坩埚处于所述下极限位置时,所述坩埚与晶棒之间形成避让间隙,所述避让间隙的宽度为所述微动区间在竖直方向上的跨度; 其特征在于,所述晶体生长设备的使用方法包括: 调节举升单元50的运动状态,使得提拉单元20到达晶体炉10外后,坩埚14处在所述晶体炉10内的微动区间; 驱动所述举升单元50将所述坩埚14带至所述微动区间的下极限位置,以使所述坩埚14与晶棒220之间形成避让间隙; 在形成有所述避让间隙的状态下向籽晶210施加剪切力,直至所述籽晶210断裂,并利用所述坩埚14承载所述晶棒220。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人浙江晶盛机电股份有限公司,其通讯地址为:312300 浙江省绍兴市上虞区通江西路218号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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