西安交通大学夏勇获国家专利权
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龙图腾网获悉西安交通大学申请的专利一种基于纯轴向应变梁的单轴加速度传感芯片及其工作方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115774122B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211485553.1,技术领域涉及:G01P15/12;该发明授权一种基于纯轴向应变梁的单轴加速度传感芯片及其工作方法是由夏勇;王涛;赵立波;于明智;韩香广;罗运运;贾琛;王久洪;王永录;杨萍;林启敬;卢德江;蒋庄德设计研发完成,并于2022-11-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于纯轴向应变梁的单轴加速度传感芯片及其工作方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于纯轴向应变梁的单轴加速度传感芯片及其工作方法,敏感梁上均具有力敏电阻;固定框架的内框形状为矩形,所有振动单元相同并依次设置于固定框架内框的四角位置;质量块上设有供支撑梁活动的凹槽,支撑梁的一端与固定框架内框的一拐角固定连接,支撑梁的另一端与质量块上的凹槽的底部连接;第一、二振动单元的质量块相邻侧面两端之间设置敏感梁;第三、四振动单元的质量块相邻的侧面两端之间设置敏感梁;所有敏感梁相互平行。本发明可以产生敏感梁纯轴向拉伸或者压缩的效果;另外一方面,这样可以显著地降低了小尺寸下芯片可动结构的整体刚度,使得小尺寸下,敏感芯体仍具有较好的灵敏度及高带宽特性。
本发明授权一种基于纯轴向应变梁的单轴加速度传感芯片及其工作方法在权利要求书中公布了:1.一种基于纯轴向应变梁的单轴加速度传感芯片,其特征在于,包括敏感芯体1,敏感芯体1包括固定外框3、第一振动单元、第二振动单元、第三振动单元、第四振动单元、第一敏感梁、第二敏感梁、第三敏感梁和第四敏感梁,第一敏感梁、第二敏感梁、第三敏感梁和第四敏感梁上均具有力敏电阻;固定外框3的内框形状为矩形,第一振动单元、第二振动单元、第三振动单元和第四振动单元结构相同并依次设置于固定外框3内框的四角位置; 第一振动单元包括质量块5和支撑梁4,质量块5上设有供支撑梁4活动的凹槽5-1,支撑梁4的一端与固定外框3内框的一拐角固定连接,支撑梁4的另一端与质量块5上的凹槽5-1的底部连接; 第一振动单元的质量块5上与第二振动单元的质量块5相邻的侧面两端分别与第一敏感梁的一端以及第二敏感梁的一端连接,第一敏感梁的另一端与第二敏感梁的另一端分别与第二振动单元的质量块5上与第一振动单元的质量块5相邻的侧面两端分别连接; 第三振动单元的质量块5上与第四振动单元的质量块5相邻的侧面两端分别与第三敏感梁的一端以及第四敏感梁的一端连接,第三敏感梁的另一端与第四敏感梁的另一端分别与第四振动单元的质量块5上与第三振动单元的质量块5相邻的侧面两端分别连接; 第一敏感梁、第二敏感梁、第三敏感梁和第四敏感梁相互平行; 支撑梁4沿固定外框3内框的对角线设置,质量块5采用矩形质量块,质量块5的各边与固定外框3内框各边对应平行,凹槽5-1从质量块5的一顶角位置沿质量块5的对角线开设。
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