西安电子科技大学何艳静获国家专利权
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龙图腾网获悉西安电子科技大学申请的专利一种集成HJD的SiC DMOSFET器件及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115842056B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211261003.1,技术领域涉及:H10D30/60;该发明授权一种集成HJD的SiC DMOSFET器件及其制备方法是由何艳静;毛雪妮;弓小武;张玉明设计研发完成,并于2022-10-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种集成HJD的SiC DMOSFET器件及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种集成HJD的SiCDMOSFET器件及其制备方法,包括:从下至上依次层叠设置的金属化漏极、N+衬底区、N‑外延区;第一和第二P‑base区设置于N‑外延区内;第一和第四P+注入区分别设置于第一和第二P‑base区内,第二和第三P+注入区设置于N‑外延区内;第一和第二N+注入区分别设置于第一和第二P‑base区内;N‑PolySi区设置于第二和第三P+注入区间的N‑外延区上;第一和第二N‑PolySi栅极分别设置于第一和第二栅介质层内,第一和第二栅介质层分别设置于指定栅极区域;金属化源极设置于器件上表面。本发明提高了器件性能。
本发明授权一种集成HJD的SiC DMOSFET器件及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种集成HJD的SiCDMOSFET器件,其特征在于,包括: 从下至上依次层叠设置的金属化漏极、N+衬底区、N-外延区; 第一P-base区和第二P-base区,分别设置于器件两端的所述N-外延区内; 第一P+注入区、第二P+注入区、第三P+注入区和第四P+注入区,所述第一P+注入区和所述第四P+注入区分别设置于所述第一P-base区和所述第二P-base区内且分别位于器件的左右两端,所述第二P+注入区、所述第三P+注入区设置于所述N-外延区内且所述第一P+注入区靠近所述第二P+注入区、所述第三P+注入区靠近所述第四P+注入区; 第一N+注入区和第二N+注入区,分别设置于所述第一P-base区和所述第二P-base区内且分别邻接所述第一P+注入区、所述第四P+注入区; N-PolySi区,设置于所述第二P+注入区、所述第三P+注入区之间的所述N-外延区上; 第一栅介质层和第二栅介质层,所述第一栅介质层设置于所述第一P-base区、所述N-外延区、部分所述第一N+注入区和部分所述第二P+注入区上,所述第二栅介质层设置于所述第二P-base区、所述N-外延区、部分所述第二N+注入区和部分所述第三P+注入区上; 第一N-PolySi栅极和第二N-PolySi栅极,分别设置于所述第一栅介质层和所述第二栅介质层内; 金属化源极,设置于所述第一P+注入区、所述第二P+注入区、所述第三P+注入区、所述第四P+注入区、所述第一N+注入区、所述第二N+注入区、所述N-PolySi区、所述第一栅介质层和所述第二栅介质层上。
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