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龙图腾网获悉北京华卓精科科技股份有限公司申请的专利视觉底座组件及视觉定位系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115881591B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211589191.0，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权视觉底座组件及视觉定位系统是由徐小光;杨光设计研发完成，并于2022-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本视觉底座组件及视觉定位系统在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体工艺设备技术领域，尤其涉及一种视觉底座组件及视觉定位系统，视觉底座组件包括视觉底座、第一直线驱动件、第二直线驱动件、气浮块和第一、第二导轨组件，第一直线驱动件包括第一固定部和第一可动部，第一固定部连接于安装平台；第二直线驱动件包括第二固定部和第二可动部，第二固定部连接于第一可动部，第二可动部连接于视觉底座；气浮块设置于视觉底座与安装平台之间；第一、第二导轨组件分别设置于第一可动部与安装平台之间、第二可动部与视觉底座之间；第一、第二导轨组件中，至少一者具有气浮轴承。如此设置，气浮轴承内及气浮块内充气生成了刚性气膜，保证滑动面间无摩擦，提高了运动精度及静精度。

本发明授权视觉底座组件及视觉定位系统在权利要求书中公布了：1.一种视觉底座组件，其特征在于，包括： 视觉底座100，用于承载视觉系统； 第一直线驱动件200，包括能够相对伸缩的第一固定部和第一可动部，所述第一固定部配置成连接于安装平台010； 第二直线驱动件300，包括能够相对伸缩的第二固定部和第二可动部，所述第二固定部连接于所述第一可动部，所述第二可动部连接于视觉底座100，所述第二固定部为所述第二直线驱动件300的第二驱动本体320；所述第一直线驱动件200与所述第二直线驱动件300的伸缩运动方向呈角度设置； 气浮块400，设置于所述视觉底座100与所述安装平台010之间； 第一导轨组件，设置于所述第一可动部与所述安装平台010之间；以及， 第二导轨组件，设置于所述第二固定部与所述视觉底座100之间； 所述第一导轨组件与所述第二导轨组件中，至少一者具有气浮轴承390；所述第二导轨组件包括固设于所述视觉底座100的第二滑块350和设于所述第二滑块350的气浮轴承390，所述气浮轴承390设置于所述第二驱动本体320与所述第二滑块350之间；所述气浮块400和所述气浮轴承390充气，用于在所述视觉底座100与所述安装平台010之间、所述第二滑块350与所述第二驱动本体320之间形成刚性气膜。

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