艾克塞利斯科技公司舒·佐藤获国家专利权
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龙图腾网获悉艾克塞利斯科技公司申请的专利用于最小发散离子束的调整装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115917701B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180043809.0，技术领域涉及：H01J37/317；该发明授权用于最小发散离子束的调整装置是由舒·佐藤;威廉·普拉托维设计研发完成，并于2021-06-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于最小发散离子束的调整装置在说明书摘要公布了：离子注入系统，具有配置成形成离子束的离子源。质量分析器对离子束进行质量分析，扫描元件在水平方向上扫描离子束，平行化透镜将成扇形散出的经扫描射束转化为平行移动扫描的离子束。对于不仅需要平均入射角度，还需要高度对齐的离子入射角度和紧密角度分布的应用，狭缝装置设置在平行化透镜的水平和或垂直前焦点处。离子束在工件上的最小水平和或垂直角度分布是通过控制扫描元件上游的射束聚焦透镜以获得通过狭缝系统的最佳射束传输来实现的。
本发明授权用于最小发散离子束的调整装置在权利要求书中公布了：1.一种用于将离子注入到工件中的离子注入系统，所述离子注入系统包括： 离子源，其配置成生成离子束； 质量分析器，其配置成对所述离子束进行质量分析； 扫描元件，其配置成在水平方向上扫描所述离子束，其中所述离子束在所述水平方向和一垂直方向上各自具有相应的焦点； 狭缝装置，其具有孔口，所述孔口选择性地设置在所述扫描元件的下游位于所述离子束的所述水平方向和垂直方向上的一个或多个相应焦点处；以及 平行化光学器件，其设置在所述狭缝装置的下游并且配置成使所述离子束平行化，由此使得在所述水平方向和垂直方向中的一个或多个方向上的角度分布最小化。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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