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龙图腾网获悉江苏润阳悦达光伏科技有限公司申请的专利一种减少多晶硅掺杂爆膜的退火工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115995508B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211681812.8，技术领域涉及：H10F71/00；该发明授权一种减少多晶硅掺杂爆膜的退火工艺是由李静;李学峰设计研发完成，并于2022-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种减少多晶硅掺杂爆膜的退火工艺在说明书摘要公布了：本发明公开一种减少多晶硅掺杂爆膜的退火工艺。现有的TOPCon电池，在硅片背面有一层隧穿氧化层及一层多晶硅掺杂层；一般情况下，为保证其转换效率与降低内阻，多晶硅掺杂层都具有较高的掺杂浓度，故而使得TOPCon电池的背面具有较大复合中心，容易形成爆膜，降低电池的光电转换效率。本发明公开一种减少多晶硅掺杂爆膜的退火工艺，通过严格控制温度、压强、充氮流速等工艺参数，解决了TOPCon电池背面载流子复合现象严重的问题，减少了硅片背面爆膜的现象，从而提升电池片光电转换效率。

本发明授权一种减少多晶硅掺杂爆膜的退火工艺在权利要求书中公布了：1.一种减少多晶硅掺杂爆膜的退火工艺，其特征在于，包括以下步骤： S1.通氮进舟,将做完背面多晶硅钝化膜工艺后的硅片装载于石英舟内并且放置于碳化硅浆上，保持送舟温度770℃到790℃，以120mms的速度送至炉管内，按照氮气流量10000sccm、管内压力1060pa的正压状态，进舟时间为600s； S2.低压升温，保持载舟设定温度810℃到830℃，按照压力400pa的负压环境,以5℃min的速率将石英舟内升温至810℃到830℃进行，升温时间480s； S3.恒温吹扫，按照恒定温度810℃到830℃、压力400pa、氮气流量6000sccm的吹扫状态，恒定吹扫时间300s； S4.变温推结，按照氮气流量6000sccm、压力600pa的状态，将石英舟内的温度从810℃到830℃提升到910℃到930℃，变温时间为900s； S5.高温钝化，按照温度910℃到930℃、氮气流量8000sccm、压力600pa的状态，执行钝化处理，钝化时间为2700s； S6.降温回压，将目标状态设置为温度800℃、压力1060pa,以氮气流量10000sccm的速度补充氮气，使石英舟内温度降低、压力上升，过程用时1800s； S7.通氮出舟，将工艺处理后硅片的石英舟放置于碳化硅浆上，保持出舟温度770℃到790℃，以120mms的速度送出炉管，按照10000sccm的速率通入氮气，保证管内是正压状态，出舟时间600s。

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