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龙图腾网获悉潍坊先进光电芯片研究院;中国科学院半导体研究所申请的专利一种多模干涉耦合器内部分束装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116047659B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310104653.3，技术领域涉及：G02B6/122；该发明授权一种多模干涉耦合器内部分束装置是由王宇飞;王利昌;周旭彦;张建心;李梦娜;王小梅;王海玲设计研发完成，并于2023-02-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种多模干涉耦合器内部分束装置在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体光电子器件集成技术领域，提供了一种多模干涉耦合器内部分束装置，芯层高折射率波导内嵌在低折射率包层中，芯层包括依次连接的输入直波导、锥形渐变输入波导、多模干涉区域、空气狭缝、锥形渐变输出波导、输出直波导。其中，锥形渐变输入波导与多模干涉区域的一端连接，锥形渐变输出波导根据使用需要能够和多模干涉区域的多个位置相连。本发明通过在MMI像点处加入45°的空气狭缝，实现了水平和竖直两个方向出光，并且不同的狭缝宽度拥有不同的分束比。本发明提供的分束装置避免了在MMI外部添加其他改变光路方向和分束比的器件，降低了整个集成器件的损耗，使得整个器件更加紧凑，从而提升了整体的性能和稳定性。

本发明授权一种多模干涉耦合器内部分束装置在权利要求书中公布了：1.一种多模干涉耦合器内部分束装置，其特征在于：芯层高折射率波导内嵌在低折射率包层中，芯层包括依次连接的输入直波导、锥形渐变输入波导、多模干涉区域、空气狭缝、锥形渐变输出波导、输出直波导；其中，锥形渐变输入波导与多模干涉区域的一端连接，锥形渐变输出波导根据使用需要能够和多模干涉区域的多个位置相连，空气狭缝根据MMI的长度和实际的需要放置在MMI不同的像点处，能够放置一个空气狭缝，也能够在多个像点处放置多个空气狭缝； 通过在MMI中像点处加入45°的空气狭缝，实现了水平和竖直两个方向出光，并且不同的狭缝宽度拥有不同的分束比； 用于水平出光的锥形渐变输出波导放置在多模干涉区域右侧对应像点处； 用于竖直出光的锥形渐变输出波导放置在多模干涉区域上侧或下侧对应像点出光处； 多模干涉区域长度为： ； 其中Lπ为两个最低阶模的拍长，N为输出波导数量，β0和β1是多模干涉区基模和一阶模的传播常数，nr为芯层有效折射率，We为多模干涉区域有效宽度，λ0为输入光波长，Wm为多模干涉区域实际宽度；nc为波导包层的材料折射率。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人潍坊先进光电芯片研究院;中国科学院半导体研究所，其通讯地址为：262400 山东省潍坊市潍城区经济开发区工业一街东首；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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