长鑫存储技术有限公司王张柯获国家专利权
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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利一种关键尺寸控制方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116053164B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310007879.1，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权一种关键尺寸控制方法及系统是由王张柯;王娟设计研发完成，并于2023-01-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种关键尺寸控制方法及系统在说明书摘要公布了：本公开提供一种关键尺寸控制方法及系统，属于半导体生产制造技术领域，其中控制方法包括：获取历史数据；通过历史数据建立和训练神经网络预测模型；获取初始前层因素数据，将初始前层因素数据作为输入变量输入已训练的神经网络预测模型进行预测，输出得到预测当层量测数据；根据预测当层量测数据满足的预设条件，以在前层工艺中进行纠偏，以得到目标前层因素数据。本公开在前层就实现对于当层关键尺寸的预测和修偏，从而改善原本存在的调节滞后导致的当层关键尺寸检验结果偏差甚至报废的问题。本公开针对关键尺寸超出标准的数据和在标准内的数据进行单独训练优化建立纠偏模型，避免干扰。
本发明授权一种关键尺寸控制方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种关键尺寸控制方法，应用于半导体生产制造领域，其特征在于，包括以下步骤： 获取历史数据，所述历史数据包括历史前层因素数据和历史当层量测数据； 通过所述历史数据建立和训练神经网络预测模型； 获取初始前层因素数据，将所述初始前层因素数据作为输入变量输入已训练的所述神经网络预测模型进行预测，输出得到预测当层量测数据； 根据所述预测当层量测数据满足的预设条件，以在前层工艺中进行纠偏，以得到目标前层因素数据，包括：若所述预测当层量测数据超出第一预设范围，则根据第一纠偏模型来调整所述神经网络预测模型的输入变量，以调整后的所述输入变量再输入至所述已训练的所述神经网络预测模型进行预测，以得到调整后的预测当层量测数据，直至所述调整后的预测当层量测数据符合所述第一预设范围，以对应的当前的输入变量作为所述目标前层因素数据。
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